[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 mc}r15:<  
UZ3oc[#D=]  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 q)KLf\  
m/>z}d05h  
2F fwct:  
2ZZF hj  
建模任务 4I<U5@a  
'3V?M;3|K  
7EukrE<b'  
概述 Jz'8|o;^  
+]NPxUa  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 %.n 7+  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 sXm,y$\m  
@qWes@  
`PeWV[?  
F!qt#Sw!
\  
光线追迹仿真 aBx8wl*Vm  
YF(TG]?6  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 SSG}'W!z  
•单击go！ c=A)_ZFg  
•获得了3D光线追迹结果。 VLfE3i4Vwl  
b|z_1j6U  
}Qo:;&"3  
iv]*
HE  
光线追迹仿真 YJEL'k<l  
En]+mIEo  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 h>[][c(b  
•单击go！ 2t7Hu)V  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 STH?X] /  
7L\kna<  
@x z?^20N  
{=GWQn6cc  
场追迹仿真 @fwk  
B)cVbjTn  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 -Y"'=zkO  
•单击go！ k4ijWo{:0  
_laLTP*  
drZ1D s  
(`pd>  
场追迹仿真（相机探测器） ;'x\L<b/)  
C/L+:b&x~  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 nQW`X=Ku  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Yh}F  
!\%0O`b^4  
7iJ=~po:o  
NFQR  
场追迹仿真（电磁场探测器） |:?JSi0  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 D3+UV+&R/  
ve|`I=?2  
yIdM2#`u  
ihrl!A5  
场追迹仿真（电磁场探测器） DlXthRM  
}4n?k'_s?  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 {} 11U0  
i
+z;tF`