[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 a!y,!EB+Qu  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 c`i=(D<  
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建模任务 e9`uD|KAS|  
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概述 hHc^ZA  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 TG63  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ]fADaw-R  
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光线追迹仿真 : \:~y9X0  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ,t%\0[{/B  
•单击go！ [CDXCV-z  
•获得了3D光线追迹结果。 ?z@v3(b[  
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光线追迹仿真 0Z A#T:4  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 >'ksXA4b  
•单击go！ /NW>;J}C  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 xxoHH#a  
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场追迹仿真 GS
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 [+%d3+27  
•单击go！ c?.r"5#  
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场追迹仿真（相机探测器） '&-5CpDUs  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
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•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 DJViy  
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场追迹仿真（电磁场探测器） ;|>q zx  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ?w]"~   
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场追迹仿真（电磁场探测器） %[]"QbF?  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 AI1@-  
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