[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 ?gV'(3 !  
2/tb6' =  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 A
|<;  
9y"TDo  
K="I<bK  
wsg//Ec]  
建模任务 /BzA(Ic/  
~4s-S3YzaM  
U($^E}I2(  
概述 E_[ONm=,  
r#xk`a
 
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ]+IVSxa!u  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Kp_jy.e7&  
'yNPhI  
QAvWJydb  
/{N))  
光线追迹仿真 Ea`OT+#h(*  
*5wv%-  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 rh$1-Y  
•单击go！ `?SGXXC  
•获得了3D光线追迹结果。 $T*KaX\{B  
[&n|\!  
K<,Y^3]6?  
Q=.g1$LP  
光线追迹仿真 /v&`!nKu  
$DV-Ieb  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 d5, FM  
•单击go！ 3@X|Gs'_S  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 p#b{xK  
A;%kl`~iyz  
-HTL5  
-q(:%;  
场追迹仿真 luF#OPC  
g<;Nio  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 =I{S;md  
•单击go！ ^r%i3  
~'|&{-<  
yW'BrTw  
8F.(]@NY  
场追迹仿真（相机探测器） Psg +\14  
@$_rEdwi  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 \y<+Fac1S  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ;Ce 2d+K  
mT}Aje-L  
chMt5L+5  
 ; \Y-  
场追迹仿真（电磁场探测器） H74NU_  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ye9QTK6$,  
Es_SCWJ  
_zAc 5rS  
b49|4   
场追迹仿真（电磁场探测器） 3Ro7M=]  
REeD?u j  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 R?i-"JhW  
<$Xn:B<H