[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 H:Y?("k  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 _CN5,mLNRk  
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建模任务 =&jLwy  
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概述 F6J,:  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 OPOL-2<wiy  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 )65 o  
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光线追迹仿真 VN6h:-&iY  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 `d]D=DtH  
•单击go！ ^h #0e:7<  
•获得了3D光线追迹结果。 z/Z 0cM#  
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光线追迹仿真 :Rl*64}  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 EAafi<n  
•单击go！ 4UP#~  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 7bJAOJ'_  
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场追迹仿真 7HfA{.|m  
K@d,8[  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ,xmL[Yk,  
•单击go！ (Klvctoy  
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场追迹仿真（相机探测器） P(h[QAM  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 (b!`klQ  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 -aj)
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图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） 2x3%*r$  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 SA3!a.*c  
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图片:1-1911251A519A0.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） FQ6jM~  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 lJ y\Ky(*  
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