[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 IP
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 57a2^  
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建模任务
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概述 :F,O  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 n<sd!xmqFx  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 {rfF'@[  
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光线追迹仿真 Q|Y0,1eVp|  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 .:p2Tbo  
•单击go！ hz;|NW{u  
•获得了3D光线追迹结果。 XC 7?VE  
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图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 BqDKT  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Xs&TJ8a  
•单击go！ [,n c  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ~ ~uAc_  
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图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 ? J}r  
CQel3Jtt.  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Fhv/[j^X  
•单击go！ Mb3}7@/[  
/@AEJ][$  

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场追迹仿真（相机探测器） M/x>51<  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 #HS]NA|e@  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 PH"hn
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场追迹仿真（电磁场探测器） gtUUsQ%y.  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 6v,z@!b  
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图片:1-1911251A519A0.png

iAT)VQ&  
2G$SpfeIu  
场追迹仿真（电磁场探测器） 7+x? "4  
rc+C?)S  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 8/)qTUx:  
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