[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 Pa\yp?({q  
/WAOpf5  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 yq[CA`zVN  
8.`5"9Vh  

图片:1-191125164532947.png

`kOp9(Q{  
&s.-p_4w^D  
建模任务 bb/A}< zD  
gavf$be  

图片:1-1911251A00R22.png

:NwFJc  
概述 y3'K+?4  
J0@#xw=+  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 )lx;u.$4  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 4NFvX4  
Mm"0Ip2"  

图片:1-1911251A211D3.png

Z +}# Ic  
x2]chN  
光线追迹仿真 <e8Ux#x/  
@q" #.?>s  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 `@ Ont+  
•单击go！ l=&Va+K  
•获得了3D光线追迹结果。 a=^>A1=  
g31\7\)Ir  

图片:1-1911251A23G14.png

zZCssn;[  
2;ogkPv'  
光线追迹仿真 ~ln96*)M;  
[*=UH*:'N  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 l) )Cvre+  
•单击go！ i'Q 4touy  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 +JFE\>O  
+-:G+9L@  

图片:1-1911251A311b4.png

TbR
Ee;1  
K&vqk/JW1  
场追迹仿真 {f%x8t$  
24_/JDz  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 f'M7x6
W  
•单击go！ O#D N3yu?  
+@C|u'  

图片:1-1911251A335531.png

s\1c.  
'%A*Z,f  
场追迹仿真（相机探测器） RZKczZGZg  
^pa -2Ao6  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 v/7iu*u  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 7;:Uv=  
KA0_uty/T  

图片:1-1911251A41O04.png

)VR/a  
{{4Sgb  
场追迹仿真（电磁场探测器） Z
Nbb8v  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 iX'#~eK*<  
1
|\/2  

图片:1-1911251A519A0.png

'St\$X  
6~6*(s|]A  
场追迹仿真（电磁场探测器） 1:iT#~n  
o4pe>hn  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 wS1zd?  
0j|JyS:}G  

图片:1-1911251A5594c.png