[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 !|#1z
}(  
}@g#S@o  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 jt",\%j  
ivi&;  

图片:1-191125164532947.png

!q*]_1  
PPNZ(j  
建模任务 /?:]f  
1 BVpv7@  

图片:1-1911251A00R22.png

T<ekDhlr  
概述 $ZE"o`=7  
-Cf< #'x_  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 .{k^ tf4  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 SyR[G*djl  
ZlYb8+rW  

图片:1-1911251A211D3.png

0CUUgwA/  
^VB_>|UN4  
光线追迹仿真 gOA]..lh  
jhSc9  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 orAEVEm  
•单击go！ XAc#ywophi  
•获得了3D光线追迹结果。 JxLD}$I  
8I=migaxP  

图片:1-1911251A23G14.png

81U(*6  
}!RFX)T  
光线追迹仿真 0@8EIQxK"  
_ ;_NM5  
•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 g\ p;  
•单击go！ To19=,:  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 |Xl,~-.  
DvvjIYB~  

图片:1-1911251A311b4.png

kculHIa\.  
Wtwh.\Jba  
场追迹仿真 20H$9M=}  
\
)vxZ!  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 lTpmoDa%  
•单击go！ S[cVoV  
#x|h@(y|  

图片:1-1911251A335531.png

skP2IMa75  
O486:tF  
场追迹仿真（相机探测器） mam2]St"  
-kd_gbnr3  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 `$D2w|  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 p
V^hZ.  
r$~ f[cA  

图片:1-1911251A41O04.png

CvtG  
za20Y?)[  
场追迹仿真（电磁场探测器） #b4Pn`[  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 nAJ<@a  
JY tM1d  

图片:1-1911251A519A0.png

ISuye2tExq  
g^DPbpWxu  
场追迹仿真（电磁场探测器） $=GZ
"%ED  
k%Q>lf<e   
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 vxzOG?Xc:  
QNH5Cq;Y  

图片:1-1911251A5594c.png