[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 2& Q\W  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 awLvLkQb{  
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建模任务 lg%fjBY  
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概述 I8#2+$Be+@  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ew;;e|24  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 s 6Wp"V(  
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光线追迹仿真 `kKssU<  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 `Fqth^RK?p  
•单击go！ 5(;Y&?k  
•获得了3D光线追迹结果。 D?Oe";"/  
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光线追迹仿真 eqtZU\GI>  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 0d2P   
•单击go！ &1\/B  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 O]:9va  
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场追迹仿真 }n)0}U5;0  
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•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 XQ1]F{?/H  
•单击go！ C T~6T&'  
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场追迹仿真（相机探测器） T CT8OU|  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Y7GsL7I  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 txEN7!  
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图片:1-1911251A41O04.png

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场追迹仿真（电磁场探测器） !ooi.Oz*Tu  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 S5>s&  
v^A+LZ*d  

图片:1-1911251A519A0.png

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UfW=/T  
场追迹仿真（电磁场探测器） n7> |$2Y  
eKLvBa-{@  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 xMbgBx4+  
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