1.摘要
#c)Ou!Ldb B]KLn?zt5 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
CMG`'gT '3u]-GU2_ CU>K HlL@{< 2. 建模任务
NX""?"q <9@]| +81+4{* sBXk$ 3. 干涉条纹的变化
S7~F*CGBh ~Yz/t ^)IL<S&h +heS\I_Mp 4. 走进VirtualLab Fusion
e$^!~+J7 oJ@PJvmR&a *T2&$W|_a F+$@3[Q`N 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
5Kw?SRFH/ --%2=.X= |p4OlUq a=B0ytNm 6. VirtualLab Fusion 技术
Dw ;vDK P[P72WR