1.摘要
~iWSc8- Pz 'Hqvd 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
=X*E(.6Ip <Va>5R_d< \K6J{;# L w(D9' 2. 建模任务
J^:~#`8 UwU]l17~ 9m6j?CFG} #"_MY- 3. 干涉条纹的变化
oB9m\o7$ Q1Ao65 X\%3uPQ yH^*Fp8V
4. 走进VirtualLab Fusion
@XmkIm _HsvF[\[ bed+Ur& '_)tR;s 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
`vw.~OBl V*}zwms6 bG)MG0<TT B*IDx`^Y 6. VirtualLab Fusion 技术
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