[技术]白光迈克尔逊干涉仪 [复制链接]

1.摘要 !W^b:qjJ  
3`W=rIMli  
白光干涉仪是一种非接触测量技术，用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性，结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 4V$DV!dPQ}  
EPY64{  

图片:1-191204120226228.png

f/_RtOSw  
`0]kRA8=  
2. 建模任务 6" s}<  
E0g` xf6c  

图片:1-19120412030c28.png

<($'jlZ  
(k@%04c  
3. 干涉条纹的变化 ]#UyY
gPk  
l1Zf#]x  

图片:1-191204120352336.png

pi'w40!:  
FIB 9W@oao  
4. 走进VirtualLab Fusion -ZmccT"8  
FG?69b>  

图片:1-1912041204141I.png

B%|cp+/  
3C=|  
5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 W6b5elH@  
|_=o0lf  

• 输入场设置

• 基本光源模型[视频教程]

• 定义元件的位置和方向

• 光路图II：位置和方向[视频教程]

• 正确设置非序列追迹通道

• 非序列追迹的通道设置[使用案例]

• 使用“参数运行”检查影响/变化

• “参数运行文件”的使用[使用案例]

图片:1-191204120454308.png

5CSihw/5  
FwdRM)1)  
6. VirtualLab Fusion 技术 (TQx3DGq  
hXvg<Rf  

图片:1-19120412051Q53.png