1.摘要
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1xkU;no 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
Hw "UJP gxku3<S %$l^C!qcY E(&GZ QE 2. 建模任务
oe5.tkc f @cs<x DB>Y#2j4h u8wZ2j4S 3. 干涉条纹的变化
/@H2m\vBX !^|%Z CY4_= z]YP 4. 走进VirtualLab Fusion
Gkr^uXNg# Q l$t s\`Vr;R:| 4P>tGO&*x 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
u%7a&1c 28j=q-9Z |@-%x.y ?]=fC{Rh 6. VirtualLab Fusion 技术
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