1.摘要
A4Q8^^byY % ]r@vjeyd 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
h&NcN-[" )/Ee#)z* MftX~+ efl6U/'Ij 2. 建模任务
+>44'M^Z|( zRL[.O9 Nyow:7p R`!x<J 3. 干涉条纹的变化
&]16Hb~ J0C,KU( NVcL9"ht*@ 8QXxRD;0: 4. 走进VirtualLab Fusion
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WJxQRUv ]y2(ZTNTs ;ZFn~!V 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
Gv?'R0s mxGa\{D#y ZiSy&r:( x\*`i)su 6. VirtualLab Fusion 技术
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