1.摘要
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Q9 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
t#6gjfIi Fg5>CppH 1wE~dpnx Y]B2-wt- 2. 建模任务
Ct$e`H!; Ks8S^77 Hd2Sou4-j D-E30b]e 3. 干涉条纹的变化
]/bf#&@g`k y?CEV-3+ 1 /7H` O? *oZBv4Vh 4. 走进VirtualLab Fusion
VAsaJ`vcb X/2Xr(z"k 2+sNt6B2 vxk1RL*Xu 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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Mf/zSQk+ 6. VirtualLab Fusion 技术
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