[技术]白光迈克尔逊干涉仪 [复制链接]

1.摘要 q:-1ul  
ZDTp/5=?K/  
白光干涉仪是一种非接触测量技术，用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性，结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 Dx>~^ ^<  
]5sU =\  
y7/=-~  
#5=!ew  
2. 建模任务 #xfPobQ>il  
B(qwTz 51  
&.)ST0b4  
9KDm<Q-mf  
3. 干涉条纹的变化 Zg/ ],/`  
8rpr10;U  
#S') i1;  
x}X hL  
4. 走进VirtualLab Fusion ^Kfm(E  
y.+!+4Mg|  
r9!,cs  
@D7/u88|  
5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 -Ta| qQa  
@lTd,V5f  

• 输入场设置

• 基本光源模型[视频教程]

• 定义元件的位置和方向

• 光路图II：位置和方向[视频教程]

• 正确设置非序列追迹通道

• 非序列追迹的通道设置[使用案例]

• 使用“参数运行”检查影响/变化

• “参数运行文件”的使用[使用案例]

uL9O_a;!  
`&5_~4T7  
6. VirtualLab Fusion 技术 C[Nh>V7=  
Fd1jElt