1.摘要
N4 O'{ t@GPB]3[ 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
GCxtW FXH K^V*JH\G P]bq9!{1 O[p;IG` 2. 建模任务
,hj5.;M >*xa\ve j1!P:( Mr}]P(4h 3. 干涉条纹的变化
]Gw? DD|Gn M@a?j<7P,m zl>l.zJ |aiP7C 4. 走进VirtualLab Fusion
lO/<xSjNd q&IO9/[dk 7w7mE 2 }QD> 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
{}?;|&_ ^}XKhn.S' o.tCw\M$g Rd5ni2-nve 6. VirtualLab Fusion 技术
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