1.摘要
:YOo"3.] 2Q\\l @b\ 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
TIt\ 0 q1x+ vU5}E\Ny ;<thEWH;Y 2. 建模任务
KV$4}{ D6|-nl 8UXRM :Z" 6/?onEL9_ 3. 干涉条纹的变化
E/*&'Osq (vX<Bh A0U9,M erbk( 4. 走进VirtualLab Fusion
,G5[?H;ZN [p~,;% c#"t.j<E} ^]'_Qbi]} 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
>KvK'Mus/ #p55/54ZI M8<Vd1-5 _H@ATut 6. VirtualLab Fusion 技术
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