1.摘要
D)ne *}, 2{]S_. zV 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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-w (6#yw`\ :;*#Qh3" 2. 建模任务
8xpYQ<cax R{xyme@"^ &J/4J ctUF/[_w; 3. 干涉条纹的变化
wH_n$w .Lr)~ h[ZN >T IL[|CB1v 4. 走进VirtualLab Fusion
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nxP9< 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
R4~zL!7; !ga(L3vf ZOrTbik ci_v7Jnwo 6. VirtualLab Fusion 技术
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