1.摘要
r^VH [c@c #:w/vk 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
X9#Od9cNaC @q],pD dBX%/ NHPpHY3^. 2. 建模任务
W(1p0|WQ: [9~Bau +JB. EW/ QOcB ]G 3. 干涉条纹的变化
2r,K/' `\(Fax j#9p0[ wz$1^ml 4. 走进VirtualLab Fusion
%=S~[&8C k6QQoLb$V ~:D}L Q: [d 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
OTl\^! r,A750P^ 12~zS x4pl#~Su 6. VirtualLab Fusion 技术
M4XnuFGB[w #|
`W ]