1.摘要
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aeQ 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
IDFFc& UQ?%|y*Kc ,!QV>= HIvZQQW| 2. 建模任务
F5T3E?_ gzn^#3 b T6BFX0$ au@a8MP 3. 干涉条纹的变化
\Y|*Nee}XP Me3dpF L,_.$1d KOSM]c\H 4. 走进VirtualLab Fusion
o>]`ac0b}Y 0\QR!*'$ |V,<+BEi Ri7((x]H" 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
GZ #aj| E,[xUz" L"+$Wc[| I:j3sy 6. VirtualLab Fusion 技术
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