1.摘要
*,WP,-0 DPHQ,dkp 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
I4_d[O9 LLAa1Wq -pb&-@Hul }ZOFYu0f 2. 建模任务
^CT&0 _7)F
? i8pU|VpA h#}YKWL 3. 干涉条纹的变化
qN|
fEO>
yfNX7 9uB(Mx(-:` (jWss V1 4. 走进VirtualLab Fusion
CQg X=!q ]o/|na* [IBQvL !fkep= 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
h5zVGr TCVl8)j `TKD<&oL dKhA$f~ 6. VirtualLab Fusion 技术
>`T5]_a Xh+ia#K