1.摘要
^.:dT?@R sQ05wAv 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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>cV 2. 建模任务
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5 jYJRG<*e 7!r)[2l 3. 干涉条纹的变化
~P@6fK/M JA(M'&q4 *$/!.e `k.Nphx~% 4. 走进VirtualLab Fusion
fJ8Q\lb<_ s^6"qhTa oe,37xa4 v[t*CpGd 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
XkE'k;AEx 9 U!-Zn! 6O9?":3; 8*[Q{:'. 6. VirtualLab Fusion 技术
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