1.摘要
dY6A)[dAH' _5%NG 3c 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
C % d U|2*.''+Q CRKuN G,]%dZHe 2. 建模任务
U0Q:sA U `5$B"p&i 93+p~? |1z?#@BH 3. 干涉条纹的变化
WhU-^`[* yv&VK ht A3jT;D9Y% <XAW-m9SC 4. 走进VirtualLab Fusion
nS`DI92I <ic%c/mN 6.|Qyk* LEJ8 .z6$ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
V/; / & H[S 4o, cI
g|sn ?~g X7{> 6. VirtualLab Fusion 技术
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