1.摘要
t(rU6miN 1=a}{)0h 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
*(MvNN* 4vQHr!$Ep E\*",MGL 9c7}-Go 2. 建模任务
+r!h* 4 #rr-4$w+ 2!otVz!Mh Xbtv}g<0c 3. 干涉条纹的变化
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% Bw=[g&+o1@ G!;[If:<e 4. 走进VirtualLab Fusion
)x7hhEk=^ 9h(hx7] |)-:w? OA=;9AcZ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
h^*{chm] ;MJ1Q fx-*') ">9CN$]J 6. VirtualLab Fusion 技术
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