1.摘要
7z<Cu< X(GV6mJ4 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
agY5Dg7 1pCkWe WFh@%j UvD-C?u' 2. 建模任务
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9Y 3. 干涉条纹的变化
i`~~+6`J .}p|`3$P )VY10R)$ 5+FLSk 4. 走进VirtualLab Fusion
LVmY=d> t&f" jPu> 0#`)Prop6 Qu}N:P9l?X 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
6PJ'lA;*b ;Vo mFp L hZ o5p&b P CsK() 6. VirtualLab Fusion 技术
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