1.摘要
8)f/H&)>8 NeewV=[% 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
E.x<J.[Y QT"o"B V-dub{K ZtI@$ An 2. 建模任务
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3. 干涉条纹的变化
"@xL9[d 9.Sv"=5gz yW}x >+[{m<Eq 4. 走进VirtualLab Fusion
Nqj5, 9*c |5BvVqn ~\O,#j`_ c8o2* C$ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
kxY9[#:<fB lp1GK/!s v +?'/Q% 8/|1FI 6. VirtualLab Fusion 技术
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