1.摘要
ydRC1~f0 p2Zo 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
26&'X+n& +_XzmjnDd ?HF%(>M pn.wud}R 2. 建模任务
)E@A0 W V=:'SL*3| 4RSHZAJg vVE2m=!v 3. 干涉条纹的变化
v\m ]A1 S;$-''o?9 sl]_M t2,A@2DU2 4. 走进VirtualLab Fusion
QFYWA1<pDh }:X*7 n(& BZzrRC &|f@$ff 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
H,Z;=N_ 0 stc9_O .C 8PitS v?KC% 6. VirtualLab Fusion 技术
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