1.摘要
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CBc}N(9 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
aLr^uce] PO#FtG (%bfNs| ;YB8X&H$ 2. 建模任务
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IRZ0 K_xn> ls=<c< 3. 干涉条纹的变化
U6{ RHS[ 0\/7[nwS d(&vIjy TYp{nWwi 4. 走进VirtualLab Fusion
nV'B!q sM4N`$Is23 0pu'K)Rb "l!"gc87 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
Z|)~2[Roa r J&1[=s =w8*n2 Z-WWp#b 6. VirtualLab Fusion 技术
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