1.摘要
*ilVkV"U BJ3<"D{.*4 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
V-(]L:[JQ {06-h %qr 7=yM40 A405igF 2. 建模任务
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MWI RrBG=V 3. 干涉条纹的变化
jcJ@A0] pe,y'w{ 93.\.&L\ ?QKDYH( 4. 走进VirtualLab Fusion
O{3X`xAf 6FUcg40Y r$4d4xtK PhuHfw4$y, 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
dR=sdqS#J 71E~~ $ a(yWIgD\\ .?APDr"QQH 6. VirtualLab Fusion 技术
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