1.摘要
^Q ps>A( |),'9 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
V$icWu x^y" < E55t*^` g'u?Rn7*J 2. 建模任务
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3. 干涉条纹的变化
R:AA,^Z @]c(V%x {}m PEd b k({\/t3i 4. 走进VirtualLab Fusion
E)-r+ <l #E+gXan %#Z/2<_ zrv#Xa!O\ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
ww{_c]My l?DJJ|> O maY4g&'f X!},8}~J~ 6. VirtualLab Fusion 技术
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