1.摘要
B$vr'U
C$9z 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
W3rl^M=r .lN s4e ;o-yQmdh ~AZWds(,N 2. 建模任务
iqwkARG" 2c(aO[%h9 @Uo6>-WF "i&"* ~ 3. 干涉条纹的变化
z42F,4Gk =IjQ4 0W _S@aGw @=Fi7M 4. 走进VirtualLab Fusion
U@F)2? MYLsHIPC ycAKK?O* p$E8Bn%[ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
',I0ih#Ls Vj?DA5W`' v~|?3/{Q dy>!KO 6. VirtualLab Fusion 技术
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