[技术]白光迈克尔逊干涉仪 [复制链接]

1.摘要 QXishHk&  
Hq$AF  
白光干涉仪是一种非接触测量技术，用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性，结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 1""9+4  
`j0T[Pi  

图片:1-191204120226228.png

C>$5<bx  
'[I_Iu#,  
2. 建模任务 P[n`X  
LT!B]y  

图片:1-19120412030c28.png

wblEx/FqE^  
gR.zL>=_5e  
3. 干涉条纹的变化 ;nji<  
x?KgEcnw2X  

图片:1-191204120352336.png

);@Dr!H  
~Lhq7;=H?O  
4. 走进VirtualLab Fusion ~IZ'zuc  
Me yQ`%  

图片:1-1912041204141I.png

Kpz>si?CL  
OZ&J'Y  
5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 @JT9utct  
SWUHHl  

• 输入场设置

• 基本光源模型[视频教程]

• 定义元件的位置和方向

• 光路图II：位置和方向[视频教程]

• 正确设置非序列追迹通道

• 非序列追迹的通道设置[使用案例]

• 使用“参数运行”检查影响/变化

• “参数运行文件”的使用[使用案例]

图片:1-191204120454308.png

L-^vlP)Vu  
m;WUp{'  
6. VirtualLab Fusion 技术 BZQ98"Fz*  
(WR&Vt4Rh  

图片:1-19120412051Q53.png