1.摘要
6XEZ4QP} P#kGX(G9! 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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'7^ 2. 建模任务
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3. 干涉条纹的变化
iY[+Ywh $<@\-vYvr@ :L?_Y/K 4z7G2 4. 走进VirtualLab Fusion
#~:P}<h n[xkSF^) xIbMs4'iEx ClW'W#*(Y 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
[um&X=1V8 =Je>`{J R5Yl 1 AH7L.L+$M 6. VirtualLab Fusion 技术
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