1.摘要
:U~[%] I)6)~[:' 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
# H4dmnV kWWb<WRW: Ih.o;8PpK CEwG#fZ 2. 建模任务
@521zi U!('`TYe KNV$9&Z uvT]MgT 3. 干涉条纹的变化
6 ,k}v: >J4_/p>Qs &cZD{Z u+hzCCwtR 4. 走进VirtualLab Fusion
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J` K2&pTA~OR }lhJt|q c *F=wMWa 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
zF{5!b Nj?,'?'O} KnlVZn[3t WO]dWO6Mm 6. VirtualLab Fusion 技术
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