1.摘要
: PQA9U| qZ8lU 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
u45e>F= r>osa3N' bM;tQ38* ZO0_:T#Z 2. 建模任务
rEddX 5|H?L@_9 Rzb663d eb( =V* 3. 干涉条纹的变化
#2u-L~n =E
|[8 U) N#ex2c z!RA=]3h 4. 走进VirtualLab Fusion
,[cWG)- FIG5]u 45ct*w ;B1}so1] 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
I94;1(Cs% e@F&/c 0*tEuJ7 PT\5P&2o@ 6. VirtualLab Fusion 技术
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