1.摘要
; bBz< )yV|vn 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
lZY0A#
B8jSdlvz #Ub"Ii uhyw?#f 2. 建模任务
L[]*vj uCc.dluU 02Ftn&bi Dq#/Uw# 3. 干涉条纹的变化
F{#m~4O |ZEZ@y^ ")/TbTVu egBjr? 4. 走进VirtualLab Fusion
AL%gqt] >^1|Mg/!> }Yi)r*LI3 9uXu V$. 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
y$n7'W6 O*hd@2hd U({20 +Zaew679 6. VirtualLab Fusion 技术
b#**`Y +3HukoR(