1.摘要
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<z 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
1NJ,If] EAiE@r>4 5m2`$y-nb `-qRZh@ E 2. 建模任务
={_.} ' *h y!f] LvP{"K; *6uZ"4rb. 3. 干涉条纹的变化
Oa7x(wS 9e^HTUFbG z@@w?>* :5 XNV6^| 4. 走进VirtualLab Fusion
llG^ +*Y8t FCO5SX#-g Vf?+->-?{ XP#j9CF#. 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
N~I2~f pPr/r& r yL =*yC H"v3?g`S% 6. VirtualLab Fusion 技术
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