1.摘要
8R)*8bb JBuorc 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
~jJu*s$? w2 CgEJ% "ibKi= X\M0Q%8 2. 建模任务
N!hp^V<7 7pkc*@t yfYAA*S!z 5Pn$@3 3. 干涉条纹的变化
R D)dw #*?a" ~bgFU V<+d o|@F 4. 走进VirtualLab Fusion
jo+T!CUM' ?"J5~_U. Jzh_`jW0l }Vg&9HY 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
c_%vD~6W- oU67<jq {DAwkJvb] <` HLG2 6. VirtualLab Fusion 技术
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