1.摘要
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Ig 84UI)nE:Q 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
? bnhx 7l|D!`BS >5+]~[S U2)y fhI 2. 建模任务
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cnwpd%]o 3. 干涉条纹的变化
ECF \/12 >Vvjs XVNJ3/ SFRQpQ06 4. 走进VirtualLab Fusion
*>f-UNV KD)+&69 dLIZ)16& 6pi^ rpo 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
E]26a,^L QwL'5ws{q \4r?=5v* c<J/I_! 6. VirtualLab Fusion 技术
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