1.摘要
xHm/^C&px ^J0zXe -d 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
k3C"
erXy>H[;
.B6`OX&k (lieiye^ 2. 建模任务
^t`f1rGR E3LBPXK
8znj~7}# 0n\^$WY 3. 干涉条纹的变化
Oq[i & {zY`h6d
'N*!>mZ<
Is<x31R 4. 走进VirtualLab Fusion
>6XDX=JVI FT<H]Nf
W0C{~|e Xm%iPrl D 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
B'<!k7Ewy )\D2\1e(c
lfXH7jL2~ p}96uaC1 6. VirtualLab Fusion 技术
4U}zJP(L lt{lHat1