1.摘要
Ht+ng YS=|y}Q|7d 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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&:= $UW!tg*U& 2. 建模任务
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y2>v'%]2 C&D]!ZvF 3. 干涉条纹的变化
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ju0]~, 6;Cr92 4. 走进VirtualLab Fusion
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/Z! ,1 gXI_S9z 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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HP|,AmVLl -`wGF#}y(= 6. VirtualLab Fusion 技术
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