摘要
reR ><p fft FNHP 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
zI$^yk-vn i]J*lM7' N-`Vb0;N dE19_KPm[j 建模任务
h6<abT@I Jz7a|pgep c[\ :^w^I6 仿真干涉条纹
|x@)%QeC v,y nz'>) &[:MTK?x! 走进VirtualLab Fusion
1^XuH(' 0T7(c- F1) B-wW _;(`u!@/{ VirtualLab Fusion中的工作流程
^]l^q'?>:
*vt5dxB •设置输入场
aSdh5? −基本光源
模型[教程视频]
*p:`F: •使用导入的数据自定义表面轮廓
CF"$&+ s9 •定义元件的位置和方向
LOQoi8j − LPD II:位置和方向[教程视频]
@ODwO;_R5 •正确设置通道以进行非
序列追迹
s3qWTdM −非序列追迹的通道设置[用例]
Mx{VN
P •使用
参数运行检查影响/变化
DP\s-JpI[ −参数运行文档的使用[用例]
B?Ac Py7!_TX g? N~mca$ S$J}>a#Ry VirtualLab Fusion技术
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