摘要
'cJHOd "#^11 o8 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
# (B <n %gDMz7$~ ~=i9]%g? mu0ER 3o 建模任务
ziCTvT d(zBd=; K1a$
m2 仿真干涉条纹
%g}ri8 +s.r!?49+ `qp[x%7^ 走进VirtualLab Fusion
4M'y9 ( p7}xgUxX '+^HeM^; 0|n1O)>J VirtualLab Fusion中的工作流程
EQXvEJ^ U7(84k\j •设置输入场
{j.5!Nj]B −基本光源
模型[教程视频]
w N9I )hB •使用导入的数据自定义表面轮廓
vL(7|K •定义元件的位置和方向
_v:t$k#sN − LPD II:位置和方向[教程视频]
x;2tmof=L •正确设置通道以进行非
序列追迹
Nw'i;}0v7r −非序列追迹的通道设置[用例]
V9qA.NV2 •使用
参数运行检查影响/变化
]Sg4>tp −参数运行文档的使用[用例]
pTPWToKh XqMJe'%r > f,G3Ay XhjH68S( VirtualLab Fusion技术
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