[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 ZF>:m>  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 c.>f,vtcn  
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建模任务 SdnnXEB7  
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仿真干涉条纹 Q>5f@aN  
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走进VirtualLab Fusion ct\msG }b:  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 h,\{s_b  
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•设置输入场 It3k
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−基本光源模型[教程视频] d/ Lz"  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 / &Z8g4vc  
•定义元件的位置和方向 gP>pbW_  
− LPD II：位置和方向[教程视频] 4U dk
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•正确设置通道以进行非序列追迹 +3o vO$g  
−非序列追迹的通道设置[用例] lw3H 8[  
•使用参数运行检查影响/变化 P5my]4|x  
−参数运行文档的使用[用例] tav@a)  
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VirtualLab Fusion技术 #?)6^uTW  
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