摘要
kNd(KQ<.17 Y@y"bjK \ 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
Gk']Ma2J} LgxsO:mi IZ_?1%q>} &_$0lIDQ 建模任务
<MyT ; vR7S! X> T_Xc 仿真干涉条纹
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6r.#/' " 3;JF5e\?x 走进VirtualLab Fusion
9Ca }+ Sq SiuO.D $@HW|Y Itz[%Dbiq9 VirtualLab Fusion中的工作流程
T'ei>]y] pkf$%{"e •设置输入场
H+
7HD|GE −基本光源
模型[教程视频]
J9/EJ'My •使用导入的数据自定义表面轮廓
- -\eYVh[ •定义元件的位置和方向
N*f]NCSi − LPD II:位置和方向[教程视频]
dsn(h5,Q' •正确设置通道以进行非
序列追迹
_;,"!'R`f −非序列追迹的通道设置[用例]
d%K& •使用
参数运行检查影响/变化
?PYZW5 −参数运行文档的使用[用例]
mX%T"_^ TQtHU6 Iqci}G%r Nwo*tb: VirtualLab Fusion技术
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