摘要
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J2 S6JXi>n 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
9jqsEd-SW /*,_\ ; .6azUD4 @`:X,]{ 建模任务
o!KDeY L*[3rqER cPNc$^Y 仿真干涉条纹
j;Z?q%M{6 qJrKt=CE yG/!K uA 走进VirtualLab Fusion
B6k<#-HAT ]4en|Aq 'u;O2$ &k%>u[Bo VirtualLab Fusion中的工作流程
bNVeL$' !=,Y=5M, •设置输入场
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−基本光源
模型[教程视频]
N\ ! •使用导入的数据自定义表面轮廓
ChG7>4:\ •定义元件的位置和方向
p\ ;|Z+0= − LPD II:位置和方向[教程视频]
CL4N/[UM •正确设置通道以进行非
序列追迹
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−非序列追迹的通道设置[用例]
II}M|qHaK •使用
参数运行检查影响/变化
Gw$ 5<%sB −参数运行文档的使用[用例]
cS9jGD92 -"dt3$ju ~;#}aQYo G#7(6:=;,` VirtualLab Fusion技术
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