摘要
n [H3b} ' 5\7>2fI 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
N guJ[ 7aUk?Hf P,^`|\#7 BWamF{\d1a 建模任务
*,A?lX,9A BFmd`#{ l uO%G,b 仿真干涉条纹
{{7%z4l eLXG _Qb" / ldE (!^n 走进VirtualLab Fusion
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7FR({b CZcn X8P'8 "E =\Vz Bvj-LT=) VirtualLab Fusion中的工作流程
r<,W{Va 484lB}H •设置输入场
sS/#)/B −基本光源
模型[教程视频]
~$-Nl •使用导入的数据自定义表面轮廓
20 h|e+3 •定义元件的位置和方向
_-$O6eZ − LPD II：位置和方向[教程视频]
&rj3UF@hb •正确设置通道以进行非
序列追迹
u4*7 n-( −非序列追迹的通道设置[用例]
">PpC]Y1 •使用
参数运行检查影响/变化
(F@ .o1No% −参数运行文档的使用[用例]
(;T$[ru` Y>LgpO. zY6{ OP!# a "uO0LOb VirtualLab Fusion技术
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