摘要
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干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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Zh8\B)0unn [8'?G5/n 建模任务
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ri[&= 仿真干涉条纹
Zj [m 0MRWx%CR GvtK=A$b 走进VirtualLab Fusion
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0(i3RPIj\ VirtualLab Fusion中的工作流程
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)%0lx •设置输入场
JWHsTnB −基本光源
模型[教程视频]
%ddH4Q/p •使用导入的数据自定义表面轮廓
C]b:#S ${ •定义元件的位置和方向
18X?CoM~ − LPD II：位置和方向[教程视频]
A.*e8a/6X •正确设置通道以进行非
序列追迹
T.cTL.} −非序列追迹的通道设置[用例]
hTa X@=Ra •使用
参数运行检查影响/变化
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( ]] −参数运行文档的使用[用例]
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2Pb+/1*ix PxYK)n9& VirtualLab Fusion技术
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