摘要
5/Qu5/ 0S :&wb 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
Zj -#"Gm 9n is8 x"sbm w2xD1oK~o 建模任务
^~N:lW#= 3Qd/X&P EC5 = 2w< 仿真干涉条纹
OLIMgc(W omg#[ >d`GNE 走进VirtualLab Fusion
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B?~Lls QGI@ 5 Y!45Kio 6O,k! y> VirtualLab Fusion中的工作流程
eH7x>[lH. bD =H $) •设置输入场
sN8pwRj b −基本光源
模型[教程视频]
eCR^$z=c •使用导入的数据自定义表面轮廓
=v^#MU{k? •定义元件的位置和方向
`Y.~e E − LPD II：位置和方向[教程视频]
;Q, t65+Am •正确设置通道以进行非
序列追迹
b-/QZvg −非序列追迹的通道设置[用例]
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•使用
参数运行检查影响/变化
OqS!y(
( −参数运行文档的使用[用例]
2]?=\_T @:RoY vk$ i`e[Vwe2x@ \"$P :Uv VirtualLab Fusion技术
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