摘要
"[yiNJ"kt `@7tWX0 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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$-d^ZJ CN(4;-so) 建模任务
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-A7 仿真干涉条纹
;0}2@Q2@ZK u,:`5*al{ VhgEG(Ud 走进VirtualLab Fusion
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G9 !`o:+Gg@ VirtualLab Fusion中的工作流程
om?CFl 0!`7kZrN •设置输入场
.N&}<T[ −基本光源
模型[教程视频]
/g'-*:a •使用导入的数据自定义表面轮廓
( y*X8 •定义元件的位置和方向
A'iF'<% − LPD II:位置和方向[教程视频]
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•正确设置通道以进行非
序列追迹
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x5 −非序列追迹的通道设置[用例]
9PK-r;2 •使用
参数运行检查影响/变化
IQe[ CcM −参数运行文档的使用[用例]
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