摘要
,W: Bh$% :j4i(qcF 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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zbyJ5~ 9!UFLZR 建模任务
/'WVR a QJKVNOo w ML5T+ 仿真干涉条纹
]xf|xs WlfS|/\%V^ }5{#f`Ca6 走进VirtualLab Fusion
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% VirtualLab Fusion中的工作流程
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y +'fdAc:5', •设置输入场
'l`T(_zL\% −基本光源
模型[教程视频]
L.1pO2zPe •使用导入的数据自定义表面轮廓
X h*p\ $ •定义元件的位置和方向
`Z! NOC − LPD II：位置和方向[教程视频]
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_;KZ •正确设置通道以进行非
序列追迹
+ziQ]r2g −非序列追迹的通道设置[用例]
)Og,VXEB •使用
参数运行检查影响/变化
' *x?8-K P −参数运行文档的使用[用例]
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1XvB,DhJ _m8JU VirtualLab Fusion技术
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