摘要
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yl 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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!Q7 cR5<.$aY 建模任务
)edM@beY_ e('c9 Y .X2mEnh 仿真干涉条纹
7OWiG, ,XA;S5FE e#'`I^8l 走进VirtualLab Fusion
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pb{P[-f AN~1E@" VirtualLab Fusion中的工作流程
E?XA/z ! _ _)Z Q •设置输入场
;C"J5RA −基本光源
模型[教程视频]
Oy|9po •使用导入的数据自定义表面轮廓
tcX7Ua(I` •定义元件的位置和方向
If&p$pAH? − LPD II:位置和方向[教程视频]
&e rNVD5o •正确设置通道以进行非
序列追迹
+bO{UC[ −非序列追迹的通道设置[用例]
MW$9,[ •使用
参数运行检查影响/变化
d;;=s=j −参数运行文档的使用[用例]
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?APzx@$D. R*[ACpxr VirtualLab Fusion技术
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