摘要
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干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
mvT(.R ..s b hlG,NTP }Y36C.@H %;YHt=(1*X 建模任务
8StgsM Pw!MS5=r M?uC%x+S$_ 仿真干涉条纹
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3\AQV }s<4{: cv+ 走进VirtualLab Fusion
tS8u B%+T2=&$7 V-L"gnd&2 MfQ?W`Kop VirtualLab Fusion中的工作流程
)+t0:GwP`: 2u*KM`fa` •设置输入场
'qX| jtdM −基本光源
模型[教程视频]
H@8sNV/u •使用导入的数据自定义表面轮廓
"y/?WQ>,3 •定义元件的位置和方向
[!]2 d jc − LPD II：位置和方向[教程视频]
tr}Loq\y •正确设置通道以进行非
序列追迹
?|B&M\}g −非序列追迹的通道设置[用例]
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$I^?< •使用
参数运行检查影响/变化
2Gaa(rJ5o −参数运行文档的使用[用例]
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at KE3;V2Ym f VirtualLab Fusion技术
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