[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 }| J79s2M  
]Tkc-ez  
扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 ^
xh}I5  
z|asa*  
SG
-'R1 J  
c7tfRq n+  
建模任务 +<xQM h8  
vFE;D@bz:  
1QmH{jM  
仿真干涉条纹 Y2d;E.DH8  
p3]_}Y D[#  
2P/K K  
走进VirtualLab Fusion bHg,1y)UC  
sXi=70o  
)Psb>'X  
F;gx%[$GX  
VirtualLab Fusion中的工作流程 0{dz5gUde  
)K,F]fc+O  
•设置输入场 UNPezHaz  
−基本光源模型[教程视频] w"SoeU  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 ogL EtqT  
•定义元件的位置和方向 ua5OGx  
− LPD II：位置和方向[教程视频] D[_|*9BC  
•正确设置通道以进行非序列追迹 SVv;q?jZ  
−非序列追迹的通道设置[用例] Qtbbb3m;  
•使用参数运行检查影响/变化 :4MB]v[K  
−参数运行文档的使用[用例] 6U[4%(  
]%BWIqbr  
J9\a{c;.  
({JHZ6uZ  
VirtualLab Fusion技术 @J5Jpt*IE  
TF 
'U