摘要
) ]DqK<- ~'F.tB 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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hu.p;A3p; *,t/IA| 建模任务
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i[I&m]N 仿真干涉条纹
Mdq|:^px #<X4RJ 6lT< l zT 走进VirtualLab Fusion
Jg)( F|>o $0vWC#.A]
'n=bQ"bQu |P`b"x VirtualLab Fusion中的工作流程
hQ(^;QcSu mG$N%`aG •设置输入场
.)=*Yr M −基本光源
模型[教程视频]
\GQRpJ#h1 •使用导入的数据自定义表面轮廓
p3Ozfk •定义元件的位置和方向
QUaV;6
4 − LPD II:位置和方向[教程视频]
EV-sEl8ki •正确设置通道以进行非
序列追迹
fDqDU −非序列追迹的通道设置[用例]
d2d8,Vg •使用
参数运行检查影响/变化
}a#T\6rY −参数运行文档的使用[用例]
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%?, 7!|Ls TspX7<6r VirtualLab Fusion技术
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