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    [技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-04-09
    摘要 |x<  
    Y\p yl  
    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 ?o.G@-  
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    走进VirtualLab Fusion cE*|8'rSf  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 E?XA/z !  
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    •设置输入场 ;C"J5RA  
    −基本光源模型[教程视频] Oy|9po  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 tcX7Ua(I`  
    •定义元件的位置和方向 If&p$pAH?  
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    •正确设置通道以进行非序列追迹 +bO{U C[  
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    −参数运行文档的使用[用例] k Dv)g  
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