[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 c=c.p i"s  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 qi5>GX^t]b  
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建模任务 /URj$|  
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仿真干涉条纹 *{n,4d\..  
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走进VirtualLab Fusion }jy7,+  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 i3\oy`GJ  
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•设置输入场 (6_/n&mF  
−基本光源模型[教程视频] 'k) P(H  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 D2mAyU-  
•定义元件的位置和方向 53#5p;k  
− LPD II：位置和方向[教程视频] X=7vUb,\gB  
•正确设置通道以进行非序列追迹 Kof
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−非序列追迹的通道设置[用例] z:q'?{`I  
•使用参数运行检查影响/变化 &b:Zln.j  
−参数运行文档的使用[用例] m*WEge*$t  
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VirtualLab Fusion技术 '3,JL!  
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