摘要
pFMJG<W9, & +`g~6U 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
V1Ft3Msq ._p2"< Z/ml,4e s w>B 建模任务
LR.]&(kyd z{BgAI, aW_Y 仿真干涉条纹
a'HHUii= tol-PJS} Q& d;UVp 走进VirtualLab Fusion
21<Sfsc$
)]w&DNc ~)pZ5%C 9`qw,X&AK_ VirtualLab Fusion中的工作流程
BJHWx,v GZ5 DI+3 •设置输入场
i\
7JQZ −基本光源
模型[教程视频]
j-aTpN •使用导入的数据自定义表面轮廓
qldm"Ul •定义元件的位置和方向
AWFq5YMSI − LPD II:位置和方向[教程视频]
\v:Z;EbX •正确设置通道以进行非
序列追迹
=saRh)EM −非序列追迹的通道设置[用例]
n|.eL8lX.< •使用
参数运行检查影响/变化
^Hf?["m^@ −参数运行文档的使用[用例]
/!5cf;kl*l g|^U?|;p EN^L.q9# o6x8jz VirtualLab Fusion技术
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