摘要
$Hl+iF4j< <IHFD^3|j 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
x):k#cu[L R9|2&pfm(M 
2f}K #i8 =0 !\F~ 建模任务
3& fIO {m*V/tX ^R 8U-V8: 仿真干涉条纹
)$Dcrrj kL2 Zr {YO%JTQ 走进VirtualLab Fusion
6S& =OK^ \h'E5LO 
` + n 7B:ZdDj VirtualLab Fusion中的工作流程
8R??J>h5\ Ndug9j\2 •设置输入场
[iO$ c]!H −基本光源
模型[教程视频]
XYxm8ee"j •使用导入的数据自定义表面轮廓
N8MlT \+r •定义元件的位置和方向
3Q! J9t5dc − LPD II：位置和方向[教程视频]
n'&`9M['%d •正确设置通道以进行非
序列追迹
Wc`J`&#.#
−非序列追迹的通道设置[用例]
6yl;o_6: •使用
参数运行检查影响/变化
ou,=MpXx* −参数运行文档的使用[用例]
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PRuSk-f 9,EaN{GM VirtualLab Fusion技术
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