摘要
WA+v&*] k58lmuU 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
KMv|;yXYj4 I]h+24_S
%PQC9{hUy$ 2w%1\TcB$ 建模任务
,Tpds ^ ^I^k4iw4 h`)r :a7 仿真干涉条纹
J{91 t | nWh?zf#{ t+pI<c^]y 走进VirtualLab Fusion
x;N?'"GP ?/O+5rjA
Z)HQlm }[1I_) VirtualLab Fusion中的工作流程
V'_^g7}l& #fwG~Q( •设置输入场
7eY*Y"GX −基本光源
模型[教程视频]
U7Ps2~x3 •使用导入的数据自定义表面轮廓
Qf"gH<vT •定义元件的位置和方向
9nB:=`T9 − LPD II:位置和方向[教程视频]
#<)u%)` •正确设置通道以进行非
序列追迹
LJT+tb?K −非序列追迹的通道设置[用例]
>Z/,DIn,I •使用
参数运行检查影响/变化
H4)){\ −参数运行文档的使用[用例]
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-O{Af &B[$l`1 VirtualLab Fusion技术
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