摘要
\T'uFy9&a (EGsw o 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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o+l 建模任务
|\%[e@u *+re2O)Eh' PuqT&|wP l 仿真干涉条纹
*x2+sgSf_0 6uW?xB9 %+YLe-\? 走进VirtualLab Fusion
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!iG} VirtualLab Fusion中的工作流程
at]=SA 0m$f9b|Q? •设置输入场
u~7mH −基本光源
模型[教程视频]
sx IvL7jl •使用导入的数据自定义表面轮廓
F0W4B •定义元件的位置和方向
M?Tb9c?` − LPD II:位置和方向[教程视频]
W\:!v%C •正确设置通道以进行非
序列追迹
MWl?pG!Y −非序列追迹的通道设置[用例]
~+}w>jIm{| •使用
参数运行检查影响/变化
k'E3{8<! −参数运行文档的使用[用例]
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xDv$z.=Y ?pn<lW8d VirtualLab Fusion技术
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