[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 ['tY4$L(  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 `%"\@<  
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建模任务 +.b,AqJ/  
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仿真干涉条纹 u(F_oZ~  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 SBk4_J/_  
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•设置输入场 MK
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−基本光源模型[教程视频] ;rGwc$?|  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 Y>dzR)~3[  
•定义元件的位置和方向 nuMD!qu!nZ  
− LPD II：位置和方向[教程视频] Vl=l?A8  
•正确设置通道以进行非序列追迹 m6\E$;`  
−非序列追迹的通道设置[用例] i
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•使用参数运行检查影响/变化 4=.89T#<  
−参数运行文档的使用[用例] ub#a`  
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VirtualLab Fusion技术 yT"Eq"7/Y#  
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