摘要
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p<iH 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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?!y< %&U !cW!zP-B*p 建模任务
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fj'7\[nZ 仿真干涉条纹
xZA.<Yd^r u9fJ:a nF$HWp> 走进VirtualLab Fusion
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)Z)Gb~G ~*x 2IPi H VirtualLab Fusion中的工作流程
)]kxLf# "SRS{-p0 •设置输入场
bEln.) −基本光源
模型[教程视频]
QJ!2Vw4K •使用导入的数据自定义表面轮廓
p<3<Zk 7~0 •定义元件的位置和方向
~LQzt@G4 − LPD II：位置和方向[教程视频]
1) 5$,+~lL •正确设置通道以进行非
序列追迹
sou~m,# −非序列追迹的通道设置[用例]
ERia5HnoD, •使用
参数运行检查影响/变化
Ph8@V}80"Y −参数运行文档的使用[用例]
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- Nn< pq uVTacN%X VirtualLab Fusion技术
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