摘要
wh+ibH} @! 4aKy]zPoE 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
$0 zL 0\*<k`dY *3($ s_r> S` @*zQ 建模任务
tTp`e0L*m C,u.!g;lm " T=LHj E 仿真干涉条纹
4FdH: os /2cOZ1G; ]+9:i!s 走进VirtualLab Fusion
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~R" VirtualLab Fusion中的工作流程
=K8h)B_g 0k<%l6Bq •设置输入场
R~-q ! nC −基本光源
模型[教程视频]
<sOB j' •使用导入的数据自定义表面轮廓
CFxs`C^ •定义元件的位置和方向
k"zHrn"$ − LPD II：位置和方向[教程视频]
f` J"A: •正确设置通道以进行非
序列追迹
)6WU&0>AU8 −非序列追迹的通道设置[用例]
Big-)7?
•使用
参数运行检查影响/变化
^o:5B%}#[ −参数运行文档的使用[用例]
t$iU|^'uV ,1L^#?Q~ CP^^ct-C Wfy+7$14M VirtualLab Fusion技术
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