[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 d65t"U  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 ' 5%`[&  
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建模任务 ,%%}d9  
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仿真干涉条纹 b&1-tYV  
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走进VirtualLab Fusion yL>wCD,L  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 czv )D\*  
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•设置输入场 )
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−基本光源模型[教程视频] 78i"3Tm)w  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 _cW6H B^j  
•定义元件的位置和方向 Cq-#|+zr  
− LPD II：位置和方向[教程视频]
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•正确设置通道以进行非序列追迹 ?dcR!-3  
−非序列追迹的通道设置[用例] `bF]
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•使用参数运行检查影响/变化 >&3ATH;&(  
−参数运行文档的使用[用例] k;9"L90  
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VirtualLab Fusion技术 f YuM`O  
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