摘要
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;z1 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
.Go 3'$'v <5~} !N X` KPUc+`cN% h2Z Gh 建模任务
4PEJ}B W KutR l$, C/+8lA6NV 仿真干涉条纹
-)aBS3 dHn Id2@# s]r "-^eS3 走进VirtualLab Fusion
D g@>d0FW 4y+] V~p ge[+/$(1 #kV`G. EX VirtualLab Fusion中的工作流程
t HPC q7wd9 6G: •设置输入场
It4 J \S −基本光源
模型[教程视频]
^6ZA2-f/<8 •使用导入的数据自定义表面轮廓
%9=^#e+pE •定义元件的位置和方向
~OEP)c\k − LPD II：位置和方向[教程视频]
81/Bn! •正确设置通道以进行非
序列追迹
oZ@_o3VG −非序列追迹的通道设置[用例]
"@E1^ •使用
参数运行检查影响/变化
?(!$vqS`f( −参数运行文档的使用[用例]
2|#3rF [Q v% N.u)Mbe G;M grA#\ VirtualLab Fusion技术
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