[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 H.m]Dm,z  
FDQ=$w}'>  
扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 vY-CXWC7  
u0h%4f!X  
?id) 2V0s  
\y5lYb,*c_  
建模任务 l[Z o,4*  
Z^:_,aJ?  
V9
,<>  
仿真干涉条纹 8u2k-_9  
-;7xUNQ  
S
HX`/  
走进VirtualLab Fusion >UvP/rp  
Qds<j{2  
lN#j%0MaUo  
3'Y-~^ml|  
VirtualLab Fusion中的工作流程 '9zW#b  
c|k_[
8L  
•设置输入场 PjeI&@  
−基本光源模型[教程视频] gS5REC4I/  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 6u0>3-[6OD  
•定义元件的位置和方向 q< XFw-Pv  
− LPD II：位置和方向[教程视频] DjM*U52Yfj  
•正确设置通道以进行非序列追迹
r8s>s6vm  
−非序列追迹的通道设置[用例] -N*[f9EJB  
•使用参数运行检查影响/变化 { c#US  
−参数运行文档的使用[用例] )2Ei<  
Hu"$)V  
+@QrGY  
hzsQK_;S  
VirtualLab Fusion技术 ENZym
  
ryL1<u ~