摘要
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干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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Y%yjCV os/h~,= & FhJ%JK 建模任务
COh#/- `\1 tbS hSbj ${Un#]g 仿真干涉条纹
@_ %RQO_X ]Dq6XR nwFBuP<LR 走进VirtualLab Fusion
/~NX<Ye& cp`J ep<T Wk%|%/: {=GmXd%D VirtualLab Fusion中的工作流程
^*ZaqMA
_E C7r>V& •设置输入场
1#d2 +J* −基本光源
模型[教程视频]
KuJ)alD;1 •使用导入的数据自定义表面轮廓
*K/K97 •定义元件的位置和方向
50_[hC&C) − LPD II：位置和方向[教程视频]
+#Pb@^6"m •正确设置通道以进行非
序列追迹
KQf WpHwfj −非序列追迹的通道设置[用例]
,Cr%2Wg- •使用
参数运行检查影响/变化
t\Vng 0 −参数运行文档的使用[用例]
]o] VS /8l-@P. o jEBn"]\D r2RJb6 VirtualLab Fusion技术
VIAq$iu7 \!^=~` X-
