摘要
Ig]iT 'R`tLN 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
r%:+$aIt &F STpBu #jA[9gWI c:Wze*vI ; 建模任务
o*U ]v
B(xN Gs $`R6= \| 仿真干涉条纹
AdRX`[ik ; bHV J Ro?s~Ih 走进VirtualLab Fusion
>SPh2[f 9z)5Mdf1j E|' h]NY J+d1&Tw& VirtualLab Fusion中的工作流程
?T+q/lt4 7i&:DePM'q •设置输入场
y6]vl=^L −基本光源
模型[教程视频]
a:QDBS2Llv •使用导入的数据自定义表面轮廓
\]$IDt(s •定义元件的位置和方向
p-. n3AL − LPD II：位置和方向[教程视频]
]Oq[gBL"A •正确设置通道以进行非
序列追迹
y~()| L [ −非序列追迹的通道设置[用例]
Sb~MQ_ •使用
参数运行检查影响/变化
da)NK! −参数运行文档的使用[用例]
Aq3}Ng t%F0:SH g8P TGz r@ZJ{4\Q VirtualLab Fusion技术
W`c'=c /0Ax*919j
