摘要
t flUy\H> %(g!,!l) 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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'yI* 5>~q4t)6z} ~lH2# u>g ybpU?n 建模任务
x$6FvgP( DO
,7vMO N~9zQ 仿真干涉条纹
G/V0Yn"" Px?0)^"2 ^Rmrre`uU 走进VirtualLab Fusion
wW0m}L nLBi} T K2-nP2Go? B {lL}"++0 VirtualLab Fusion中的工作流程
A|BN >?.t 5!7vD |6 •设置输入场
-A1:S'aN- −基本光源
模型[教程视频]
y?8V'.f| •使用导入的数据自定义表面轮廓
a >Xq •定义元件的位置和方向
qnf\ K} − LPD II：位置和方向[教程视频]
/P/::$ •正确设置通道以进行非
序列追迹
p&3~n:
Fo −非序列追迹的通道设置[用例]
c/`Rv{ *'o •使用
参数运行检查影响/变化
txy '7t −参数运行文档的使用[用例]
SNtOHTQ )iCg,?SSw= @v n% +! <{ 80w VirtualLab Fusion技术
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