[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 o%$.8)B9F  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 aLJm%uW6m&  
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建模任务 X W)TI  
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仿真干涉条纹 A=Wg0eYy\  
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走进VirtualLab Fusion n|SV)92o1  
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Hcq.Lq;2:  
VirtualLab Fusion中的工作流程 nM )C^$3<t  
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•设置输入场 'y8{,R4C  
−基本光源模型[教程视频] [VCC+_  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 ~4S$+*'8  
•定义元件的位置和方向 K2x[ApS#  
− LPD II：位置和方向[教程视频] ^PksXfk  
•正确设置通道以进行非序列追迹 }'X=&3m  
−非序列追迹的通道设置[用例] XpQOl  
•使用参数运行检查影响/变化 tT$OnZu&  
−参数运行文档的使用[用例] C$
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VirtualLab Fusion技术 (B7G'h.?  
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