[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 OV[`|<C '  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 aG! *WHt  
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建模任务 BwxnDeG)  
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仿真干涉条纹 B3mS]  
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走进VirtualLab Fusion =&7@<vBpy  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 KE.Dt  
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•设置输入场 dl0FQNz8@B  
−基本光源模型[教程视频] h^oH^moq<  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 ffE#^|  
•定义元件的位置和方向 b5pMq$UVL  
− LPD II：位置和方向[教程视频] UTCzHh1  
•正确设置通道以进行非序列追迹 =eBmBn  
−非序列追迹的通道设置[用例] 7,'kpyCj  
•使用参数运行检查影响/变化 [i7YVwG4  
−参数运行文档的使用[用例] LA4<#KP  
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VirtualLab Fusion技术 ?Elg?)os  
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