[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 tTE3H_  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 F^[M  
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建模任务 8UlB~fVg  
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仿真干涉条纹 ,!8*g[^
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走进VirtualLab Fusion GF9ZL  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 e=YO.HT  
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•设置输入场 H@Kl  
−基本光源模型[教程视频] z[_
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•使用导入的数据自定义表面轮廓 s}z(|IrH  
•定义元件的位置和方向
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− LPD II：位置和方向[教程视频] K7n;Zb:BR  
•正确设置通道以进行非序列追迹 p]X!g  
−非序列追迹的通道设置[用例] tP/GDC;  
•使用参数运行检查影响/变化 FA<Z37:  
−参数运行文档的使用[用例] _+0uju?o}  
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VirtualLab Fusion技术 j&o/X7I=  
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