摘要
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4~ 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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%P2GQS-N {WJ+6!v 建模任务
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% y pv~F 仿真干涉条纹
Z!P7mH\c} 2R2ws.} emo@&6* 走进VirtualLab Fusion
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_>8ZL)NQQ ^b]h4z$ VirtualLab Fusion中的工作流程
c|%.B2 %># VhK •设置输入场
c_e2'K: −基本光源
模型[教程视频]
Quy&CV{@ •使用导入的数据自定义表面轮廓
:O}= $[ •定义元件的位置和方向
l.c*,9
− LPD II:位置和方向[教程视频]
|?=K'[5 •正确设置通道以进行非
序列追迹
m?]XNgT −非序列追迹的通道设置[用例]
dMw0Aw,2]8 •使用
参数运行检查影响/变化
J2M[aibV −参数运行文档的使用[用例]
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xt7ZrT |UN0jR VirtualLab Fusion技术
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