摘要
N0TEVDsk X;`Xk Ojk 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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-;rr! cQ? *UM=EQaYk 建模任务
3zi(|B[ ,? o ;nw;]oR 6%'bo`S# 仿真干涉条纹
<*I%U] 6XU1w UOh % "h 走进VirtualLab Fusion
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24;F~y8H ;oL`fQyr VirtualLab Fusion中的工作流程
!e+ ex"7 -U'3kaX5< •设置输入场
< *O~?=6p −基本光源
模型[教程视频]
`yiw<9yp2 •使用导入的数据自定义表面轮廓
,D#ssxV •定义元件的位置和方向
-n.ltgW@ − LPD II：位置和方向[教程视频]
~%)ug3%e •正确设置通道以进行非
序列追迹
t \& u −非序列追迹的通道设置[用例]
E=PmOw7b •使用
参数运行检查影响/变化
\jlem <& −参数运行文档的使用[用例]
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xz9x t cPQUR^!5 VirtualLab Fusion技术
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