摘要
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干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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mR@| ] T \95qH ,w)T 建模任务
vQ/}E@?u ]Q,;5>#W =+5 z;3 仿真干涉条纹
oFM\L^Y?$$ s7.2EkGl= CF"$&+ s9 走进VirtualLab Fusion
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%|E'cdvkX WA}<Zme3[ VirtualLab Fusion中的工作流程
DP\s-JpI[ VeiJ1=hc •设置输入场
Ats i}zTR\ −基本光源
模型[教程视频]
x{{QS$6v •使用导入的数据自定义表面轮廓
ddvSi 6 •定义元件的位置和方向
o#3?")>| − LPD II：位置和方向[教程视频]
)OQhtxK •正确设置通道以进行非
序列追迹
:W]?6= −非序列追迹的通道设置[用例]
VH[r@Pn •使用
参数运行检查影响/变化
L08>9tf` −参数运行文档的使用[用例]
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?~~sOf AP >2h|$6iWP VirtualLab Fusion技术
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