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摘要 enJgk( "iY=1F"\R
G@Y!*ZH*f /htM/pR 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 Yx{q VU yxz"9PE/P 建模任务 PhOtSml0 W6 U**ir.
Xv'5%o^i* Z&E!m 由于组件倾斜引起的干涉条纹 oWo/QNw9 U%nLo[k
*c6o#[l 5x:dhkW 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 rW(<[2 vg l4+Bs!i`
@XL5$k[Y -@EAL:kY 文件信息 5p7?e3 1$#{om9
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