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摘要 9ZY,T]ym? |z:4T%ES
j},i=v L2~'Z'q 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 L<Z,@q` P$*Ngt 建模任务 u-mD" j4]3}t0q
;G3?Sa7+ n}(A4^=4KQ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 YV@efPy}n x7G*xHJ
3Z&!zSK^ u3pFH( 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 Aq3\Q>klH) b`=g#B|
'V&Uh]> QgQ$> 文件信息 Z|ZB6gP>h1 S'hUh'PZ
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