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摘要 OifvUTl9b $>*Yhz `
Ekv89swl`i $X*mdji 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 =SAV| 8tLHr @%% 建模任务 "O*x' XhN .WvlaPK
?aBj# 1dFa@<5 由于组件倾斜引起的干涉条纹 <l$P&jSF3 !VwmPAMr#v
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i5nJ\ t9FDU 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 0GZq`a7[ a2`%ghW3
B8T\s)fxnX nnwJYEi 文件信息 2j&v;dmh< !KcWH9
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