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摘要 Z5((1J9 `wNm%*g
GwcI0~5 r?fH
&u 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 FX
H0PK :]vA2 建模任务 T>d\%*Q+B :W~6F*A
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