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摘要 qL
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1[:?oEI qZG "{8 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 yG2j!D P*)}ENY 建模任务 )TBBYCL3 u])N^AY"sj
NuLQkf) ORyFE:p$ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 _;L9&>!p6 /mo4Q?^
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%@n.; 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 +tES:3Pi <p-R{}8
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