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摘要 _$E6P^AQ {T$9?`h~M v!~fs)cdE| 3) <yod= 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 V(I8=rVH yW=::= 建模任务 zZPO&akB" UmP/h@8 ,wb:dj- EH J.T~X 由于组件倾斜引起的干涉条纹 J/y83@ Ko<:Z)PS `,<BCu D0-3eV- 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 zFfr.g;L AlaW=leTe hD 82tr N)X3XTY 文件信息 R`qFg/S r(TIw%L$ Q~
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