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摘要 As}3VBd Qk5pRoL_
0R21"]L_M ^Kbq.4 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 )c6t`SBwi 0gevn 建模任务 L<QjkFj Xh5&J9pw
Cf~vT" v ?Ds| 由于组件倾斜引起的干涉条纹 s*;rt J=l\t7w
fo$s9g^< -f&m4J} E 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 +hZ{/ S'
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