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摘要 lN][xnP Npf7 p
ib""Fv7{ &?5{z\;1" 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 t^bdi}[ f>"!-3 建模任务 h.}t${1ZC GP7)m
U`8^N.Snrp I]WeZ,E 由于组件倾斜引起的干涉条纹 [Q.4]K2 TJ%]{%F
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由于偏移倾斜引起的干涉条纹 KWn1 %oGJ #ejw@bd
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