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摘要 Gn 1 QTjnXg?Ri
!.w|+-JKO u Uh6/=y 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 t9&=; s "Q;Vy t 建模任务 ]|B_3*A Ny]]L
M~g@y$ ^6PKSEba 由于组件倾斜引起的干涉条纹 E^x/v_,$w! >9X+\eg-
@4P_Yfn a#+;BH1 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 @ [j%V ynf j`_tb
)C$1)) mJME1#j$/| 文件信息 /D;cm iy|xF~
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