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摘要 %Q)3*L #D{jNSB
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[Ne ~Sr`Tlp 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 x{$~u2| (l|:$%[0 建模任务 rQW&$M `ViFY
E"E Bj7<s qre.^6x 由于组件倾斜引起的干涉条纹 c<'Pt4LY T8ga)BA
8z?q4 ?q&*|-%)_d 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 ypoJ4EZ( kJ;fA|(I
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