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摘要 D^gS.X ^ \!xCmQ
o7s!ti\G |Sm/s;&c6 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 o{hX?,4i dyk(/#*7W 建模任务 SF`(`h0e +~~2OU L
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G:3szz 由于组件倾斜引起的干涉条纹 S+#|j
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lh[?`+A KK6n"&TVa 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 050,S`%<g8 uuxVVgWp{
BNj_f xW]65iav 文件信息 [Ky3WppR R8_I ASs
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