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摘要 xq-TT2}<L (N
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$l+DkR+ 6#za\[ 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 #[$zbZ(I>: 7wB*@a- 建模任务 _KZ&/ Q$lgC
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N&jHU+{OU o7=#ye&P 由于组件倾斜引起的干涉条纹 }K'gjs/N; y 13Y,cz~B
@:%p#$V X5w_ }Nhe 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 =
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)p!.V(, T;`2t; 文件信息 4Mck/i2 Zc|V7+Yx
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