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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 +QFKaS<sn
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建模任务 gS+X%
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光栅特性与参数的严格分析 03fOm
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不同光栅周期下的衍射效率 XZ
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关于光栅周期选择的考虑 *m"9F'(Sd
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偏振相关的衍射特性 .4CDQ&B0K
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通过参数优化进行光栅设计 "rn
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固定周期的2D参数优化 w PR Ns9^
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2D参数优化–设计1 Y5GN7.
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2D参数优化–设计2 :5~Dca_iU4
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制造公差分析–设计2 RkG?R3e
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变化光栅周期的3D参数优化 w@-G_-6W
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制造公差分析 IMD^(k 2
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VirtualLab Fusion中的工作流程 -"xAeI1+
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•构造光栅结构 <.Tllk@r)
−通过使用界面来配置光栅结构 qOG@MR(5
[用例] ]CP5s5
•分析光栅衍射效率 rrU(>jA!
−光栅级次分析器[用例] jW#dUKS(
•使用参数运行搜索初始解决方案 i}LQ}35@
−参数运行文档的使用[用例] <T7@,_T
•通过参数优化找到最终设计 h:Gs9]Lvtv
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VirtualLab Fusion技术 -!+i
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