摘要
d"#gO,H0 _&8O~8tW 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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B\Xh3l]+j CF]i}xpWV 建模任务
yGU .AM vB[~pQ;Z
&J8Z@^ 光栅特性与参数的严格分析
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M&hU U?gl"6x 不同光栅周期下的衍射效率
}$o* k*5'L<&
'eDJ@4Xm >A-<ZS*N 关于光栅周期选择的考虑
6gXIt9B.h$ $tI]rU
6yY.!HRkr g %f*ofb 偏振相关的衍射特性
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J , V n5|l|#c$N
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Mtm/}I }.p<wCPy6 通过参数优化进行光栅设计
(ab{F5 Bs[nV}c>> 固定周期的2D参数优化
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~4Pc_%&i 2D参数优化–设计1
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4]] J1bA2+5.*e
&uv0G'"\ b/t 2D参数优化–设计2
({4] Z`Pd2VRp
Y2C9(Zk
U &rp!%]+xAM 制造
公差分析–设计2
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#Z\O}< ,vV]"f 变化光栅周期的3D参数优化
SVagT'BB nU(DYHc+l
} VEq:^o. ZsZcQj6G, 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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Y#FO5O%W ubYG VirtualLab Fusion中的工作流程
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fTqC:r|st ]u#JuX •构造光栅
结构 Q$ri=uB;+ −通过使用界面来配置光栅结构
F2 ~%zNe [用例]
cX:HD+wO •分析光栅衍射效率
]"F5;p;y −光栅级次分析器[用例]
R^*K6Ad •使用参数运行搜索初始解决方案
MgJ36zM −参数运行文档的使用[用例]
w8iR|TV •通过参数优化找到最终设计
>O7~h[FN JN'cXZJPn VirtualLab Fusion技术
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