摘要
Gs9:6 lz"OC<D}( 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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C!Rs^/ _acE:H 建模任务
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I 4,K43| 光栅特性与参数的严格分析
PIH*Rw*GKZ @r#v[I 不同光栅周期下的衍射效率
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uM_# :@ %4 关于光栅周期选择的考虑
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3jlh}t>$l qjf[zF 偏振相关的衍射特性
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:cq9f2) l~6?kFy9h
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0JlZs] J.ck~;3 通过参数优化进行光栅设计
GlbySD@ Q\cjPc0y 固定周期的2D参数优化
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<5NF; 2D参数优化–设计1
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(N&lHLy B>GE9y5 2D参数优化–设计2
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h"_~7jq" $OP7l>KZY 制造
公差分析–设计2
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;G*W18 Y7vA`kjD-C 变化光栅周期的3D参数优化
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c05 %iv ^my].Qpt 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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zxf"87se =k/IaFg 6w VirtualLab Fusion中的工作流程
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oiX+l5`pz cOPB2\, •构造光栅
结构 tUgEeh6 −通过使用界面来配置光栅结构
(y M^ [用例]
Er{#ziN+ •分析光栅衍射效率
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Y −光栅级次分析器[用例]
5!EJxP9 •使用参数运行搜索初始解决方案
s%2v3eb −参数运行文档的使用[用例]
e0J6Ae4V[ •通过参数优化找到最终设计
=e8bNg %/YcL6o( VirtualLab Fusion技术
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