摘要
z"3H{ A w<mqe0 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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CwB] )QV? P|v ? 建模任务
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dL(4mR8 光栅特性与参数的严格分析
g6`.qyVfz' K_FBy 不同光栅周期下的衍射效率
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_%! @M9_j{A 关于光栅周期选择的考虑
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,`+Bs&S 8 I'P.K| "R 偏振相关的衍射特性
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@}Pw0vC }0krSzcn#, 通过参数优化进行光栅设计
|})rt5|f1! tPA"lBS ! 固定周期的2D参数优化
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lej^gxj/2 2D参数优化–设计1
`c> A>c| DU(X,hDBF
NCp%sGBmG 2Sv>C `FMU 2D参数优化–设计2
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@i\7k(9:A x={kjym L 制造
公差分析–设计2
5NFq7&rJ6 Un~]Q?w
,Z >JvTnH 5BZ+b_A>VV 变化光栅周期的3D参数优化
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#V,LNX) 7ucx6J]c 制造公差分析
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Z+OAs0}mV 0oXK&Z 走进
VirtualLab Fusion
5R&x{jf$ V,`!rJ
}3LBbG0Bw Fa6H(L3 VirtualLab Fusion中的工作流程
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xq8}6Q p|xs|O6{ •构造光栅
结构 pW`ntE#L −通过使用界面来配置光栅结构
cu)@P 0I [用例]
f6@^Mg •分析光栅衍射效率
IY-(-
a8 −光栅级次分析器[用例]
dw@TbJ •使用参数运行搜索初始解决方案
h2im
sjf −参数运行文档的使用[用例]
>aNbp •通过参数优化找到最终设计
Cmp{F N"o ~5x4?2 VirtualLab Fusion技术
sDW"j\ z7D*z8,i