[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 `<d{(9:+  
T13Jno  
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 0"$'1g^]7  
}4"T# [n#  
)NS&1$  
!Ql&Ls  
建模任务 I;Bcim;  
XRR`GBI  
< 5#}EiT5  
光栅特性与参数的严格分析 D[}qhDlX  
`?:X-dh_  
不同光栅周期下的衍射效率 FBJ Lkg0  
BA|*V[HBE  
j4.deQ,  
Md,KW#  
关于光栅周期选择的考虑 3
L(vZ2&  
X
vspE}~y  
fQOh%i9n5  
>vY5%%}  
偏振相关的衍射特性 ZtqN8$[6n  
>pn5nn1a  
6)~J5Fb  
;p'Ej'E  
h ?%]uFJC  
$N)b6(}F10  
+cnBEv~y  
tB7g.)yZb  
通过参数优化进行光栅设计 knJoVo]  
[boB4>.  
固定周期的2D参数优化 ~!{y3thZ  
:IlJQ{=W  
|*W
E@L5  
2D参数优化–设计1 DQOEntw  
*(sFr E  
s4{WPU9  
b^]@8I[M  
2D参数优化–设计2 <rpXhcR  
r*t\\
2  
!q_fcd^c
 
1#<KZN =$  
制造公差分析–设计2 COf>H0^%Q  
c/G]r|k  
|SF5'\d'  
WMLsKoby  
变化光栅周期的3D参数优化 i+HHOT  
m'i^BE  

I,xV&j+<  
MKN],l N  
制造公差分析 =^LX,!2zp{  
Gv3AJ'NL  
<..|:0Q&~  
`vPc&.
-K  
走进VirtualLab Fusion oH|<(8efD  
NXw$PM|+R  
E}WO?xxv74  
CAl]Kpc  
VirtualLab Fusion中的工作流程 3r(i=ac0  
V]$Tbxg  
nwm1YPs%v]  
r g$2)z1  
•构造光栅结构 6X@$xe847[  
−通过使用界面来配置光栅结构 8#MiM . f  
[用例] G*;6cV19  
•分析光栅衍射效率 xrPC  
−光栅级次分析器[用例] M[@=m[#a  
•使用参数运行搜索初始解决方案 ZOK,P
 
−参数运行文档的使用[用例] &gL &@';,  
•通过参数优化找到最终设计 3 O)^Hq+9  
vF,iHzv  
VirtualLab Fusion技术 GDW$R`2  
/=bg(?nX