摘要 ZY83,:<
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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 [u<1DR
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建模任务 RsE+\)
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光栅特性与参数的严格分析 !4|7U\;
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不同光栅周期下的衍射效率 -gzk,ymp
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关于光栅周期选择的考虑 NbSwn}e_
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偏振相关的衍射特性 gzeG5p
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通过参数优化进行光栅设计 2nk}'HBe
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2D参数优化–设计1 !tN]OQ)'
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制造公差分析–设计2 ._#|h5
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变化光栅周期的3D参数优化 5ZUqCl(PX)
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VirtualLab Fusion中的工作流程 .(ki(8Z N
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•构造光栅结构 a8Nl'
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−通过使用界面来配置光栅结构 V\Cu|m&HI
[用例] *ix&"|h
•分析光栅衍射效率 |s+y]3-_
−光栅级次分析器[用例] AKejWh
•使用参数运行搜索初始解决方案 skf7Si0z
−参数运行文档的使用[用例] 7jvf:#\LtL
•通过参数优化找到最终设计 >XM-xK-=
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VirtualLab Fusion技术 \GEFhM4)
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