摘要 #db8ur3?
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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 V#'sH
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建模任务 x;?4A J{
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光栅特性与参数的严格分析 I QS|
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不同光栅周期下的衍射效率 F<M#T
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关于光栅周期选择的考虑 ><mZOTn e;
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偏振相关的衍射特性 mVcpYyD|k
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通过参数优化进行光栅设计 |FHeT*"
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固定周期的2D参数优化 B;r U
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走进VirtualLab Fusion TOdH
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VirtualLab Fusion中的工作流程 yw^t6E
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•构造光栅结构 C(Ujx=G+3
−通过使用界面来配置光栅结构 / tM<ois*
[用例] SL" ;\[uI
•分析光栅衍射效率 tQ_;UQlX
−光栅级次分析器[用例] EGO;g^,
•使用参数运行搜索初始解决方案 lBqu}88q0
−参数运行文档的使用[用例] H_sLviYLu
•通过参数优化找到最终设计 mVfg+d(
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VirtualLab Fusion技术 eUPG){"
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