摘要
^:mKTiA- 3orL;(.G 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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qn{4AWmJ 9j5|o([J 建模任务
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O '`|(L 光栅特性与参数的严格分析
Uovna:" mwN"Cu4t 不同光栅周期下的衍射效率
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;]=@;? 9 [eBt Dc*w 关于光栅周期选择的考虑
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?iEn~9WCS &5sPw^{,H 偏振相关的衍射特性
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&B=z*m 通过参数优化进行光栅设计
CdcBE.%< )56L`5#tS 固定周期的2D参数优化
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(2"4PU8 2D参数优化–设计1
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g2*}XS3 2D参数优化–设计2
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公差分析–设计2
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jGJf[:M&Pm /X#OX8gb] 变化光栅周期的3D参数优化
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7Wiwnv_" ?qn4ea-\P 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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#.Ly //Xz VirtualLab Fusion中的工作流程
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,.gJ8p(0x KpS=oFX{} •构造光栅
结构 ZX{eggXl −通过使用界面来配置光栅结构
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R`m [用例]
T:CWxusL •分析光栅衍射效率
*]k E3 −光栅级次分析器[用例]
Yx ;j •使用参数运行搜索初始解决方案
|Xv\3r −参数运行文档的使用[用例]
6G-XZko~a •通过参数优化找到最终设计
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Hy<`p0 *S4&V<W> VirtualLab Fusion技术
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