摘要 Z !Njfq5
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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 w,(e,8#:
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建模任务 X p4x:N
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光栅特性与参数的严格分析 RI_:~^nO{r
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不同光栅周期下的衍射效率 mAkR<\?iTF
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关于光栅周期选择的考虑 "V!y"yQ
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偏振相关的衍射特性 &]gw[
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通过参数优化进行光栅设计 Q70LQCms
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固定周期的2D参数优化 bV_@!KL$
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2D参数优化–设计1 hO3>Gl5<
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制造公差分析–设计2 %dMq'j
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变化光栅周期的3D参数优化 .JIn(
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制造公差分析 u!TVvc
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走进VirtualLab Fusion S^;D\6(r
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VirtualLab Fusion中的工作流程 Y <;A989D
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•构造光栅结构 ni$7)YcF
−通过使用界面来配置光栅结构 |U}al[
[用例] S EdNH.|I
•分析光栅衍射效率 FFGG6r
−光栅级次分析器[用例] 4OLq
•使用参数运行搜索初始解决方案 0KknsP7
−参数运行文档的使用[用例] iT#)i3
•通过参数优化找到最终设计 NQCJ '%L6
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VirtualLab Fusion技术 6X{RcX]/
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