摘要
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d$ {!5"Y(>X 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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U 7mA~t2E }p-<+sFo 建模任务
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VB6EM|bphl 光栅特性与参数的严格分析
klHOAb1 _4qP0LCa 不同光栅周期下的衍射效率
, VZ;= Z}bUvr XP
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关于光栅周期选择的考虑
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V5 p x;X}Cd 偏振相关的衍射特性
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7{=<_ GRpS^%8i@ 通过参数优化进行光栅设计
:ie7HF (WT0j 固定周期的2D参数优化
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aYQ!`mS::M 2D参数优化–设计1
sW%U3,j [\N,ow,n
|a@$KF$ "B`yk/GM] 2D参数优化–设计2
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*yAC8\v ;OW`(jC 制造
公差分析–设计2
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iN%\wkx*N V^Wo%e7#u[ 变化光栅周期的3D参数优化
1G/bqIMg63 Qxj &IX
42:~oKiQ$" vPuPSE%M 制造公差分析
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b6!?K!imT kE QT[Lo 走进
VirtualLab Fusion
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VirtualLab Fusion中的工作流程
rC~hjViG. rlu{C4l
NC::;e K1RTAFf / •构造光栅
结构 r-]Au - −通过使用界面来配置光栅结构
KfJF9!U*? [用例]
$5nOi aQL •分析光栅衍射效率
H~RWM'_ −光栅级次分析器[用例]
N(mhgC<O •使用参数运行搜索初始解决方案
aE.T%xR −参数运行文档的使用[用例]
ehj&A+Ip •通过参数优化找到最终设计
K9 &,Dh*)k VirtualLab Fusion技术
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