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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 mLk6!&zN
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建模任务 p`<e~[]a
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光栅特性与参数的严格分析 =y-!k)t
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不同光栅周期下的衍射效率 qvfAG 0p
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关于光栅周期选择的考虑 2) /k`Na
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偏振相关的衍射特性
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通过参数优化进行光栅设计 FG;<`4mY
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固定周期的2D参数优化 Vr/` \441
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制造公差分析–设计2 i>]<*w
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制造公差分析 }:RT,<
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VirtualLab Fusion中的工作流程 DD/>{kff
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•构造光栅结构 XSm"I[.g
−通过使用界面来配置光栅结构 M1/M}~
[用例] L(WL,xnBy
•分析光栅衍射效率 E(QZ!'%K+m
−光栅级次分析器[用例] @)W(q5)}9"
•使用参数运行搜索初始解决方案 =9qGEkd3
−参数运行文档的使用[用例] M#\ <
•通过参数优化找到最终设计 yqC Q24
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VirtualLab Fusion技术 Snc;p
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