摘要 H'Q4IRT
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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 0@[]l{N
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建模任务 X-O/&WRYQ
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光栅特性与参数的严格分析 5SKj% %B2,
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VirtualLab Fusion中的工作流程 -DWyKR= j"
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•构造光栅结构 OEMYS I%
−通过使用界面来配置光栅结构 |^: A,%>
[用例] iKs @oHW
•分析光栅衍射效率 Q7u/k$qN
−光栅级次分析器[用例] F\LAw#IJ
•使用参数运行搜索初始解决方案 tkQ#mipAj
−参数运行文档的使用[用例] -qv*%O@
•通过参数优化找到最终设计 vRp#bScc
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VirtualLab Fusion技术 f,S,35`qa
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