摘要 bSIY|/d+
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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 - k0a((?
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建模任务 4m\Cc_:jO
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光栅特性与参数的严格分析 q,sO<1wAT\
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不同光栅周期下的衍射效率 gkK(7=r%
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关于光栅周期选择的考虑 w8+phN(-M
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偏振相关的衍射特性 hzAuj0-A
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通过参数优化进行光栅设计 HE*^!2f
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固定周期的2D参数优化 un\o&0}
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2D参数优化–设计1 fhk(<KZvJ
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制造公差分析–设计2 kJ* N`=
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变化光栅周期的3D参数优化 BD$Lf,_
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制造公差分析 <'T DOYb
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走进VirtualLab Fusion uKY1AC__
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VirtualLab Fusion中的工作流程 [+@T"2h2b
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•构造光栅结构 &G-dxET]
−通过使用界面来配置光栅结构 _Kli~$c& M
[用例] N+]HJ`K
•分析光栅衍射效率 Z@ec}`UO|u
−光栅级次分析器[用例] 6!6R3Za$
•使用参数运行搜索初始解决方案 }Oe4wEYN)
−参数运行文档的使用[用例] Dl?:Mh
•通过参数优化找到最终设计 Wa!C2nB
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VirtualLab Fusion技术 v/7^v}[<
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