摘要 Vbqm]2o&
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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 i}$N&
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建模任务 O+8ApicjTc
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光栅特性与参数的严格分析 v^lm8/}NO
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不同光栅周期下的衍射效率 ;hfG${l;
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关于光栅周期选择的考虑 <g|nmu)o$
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偏振相关的衍射特性 B"E (Y M
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通过参数优化进行光栅设计 -"JE-n
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固定周期的2D参数优化 jtVPv]
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制造公差分析 FVLA^$5c
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走进VirtualLab Fusion B(vz$QE,$r
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VirtualLab Fusion中的工作流程 [(^''*7r+T
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•构造光栅结构 &7y1KwfXn
−通过使用界面来配置光栅结构 &(U=O?r7
[用例] C&K(({5O
•分析光栅衍射效率 9(Xch2tpO!
−光栅级次分析器[用例] tp3N5I
•使用参数运行搜索初始解决方案 9*Mg<P"
−参数运行文档的使用[用例] a+Qj[pS
•通过参数优化找到最终设计 z&G3&?Z
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VirtualLab Fusion技术 sy#j+gZ
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