摘要
YcOPqvQ Tsch:r S 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
I$7|?8 #s>AiD
]Wr2I M R/ix,GC 建模任务
kw{dvE\K ~"|MwR!0
v3PtiKS 光栅特性与参数的严格分析
js;p7wi Zgy~Y0Di 不同光栅周期下的衍射效率
MdXOH$ps VRU"2mQ.P6
|>|f?^ QOiPDu=8z 关于光栅周期选择的考虑
{*mf Is (KxI*
A0X'|4I *U>"_h T0 偏振相关的衍射特性
jV{?.0/h| D+#OB|&Dn
C2}n &{T xB-\yWDZe
3E9 )~$ M^IEu}
dhrh "x_?: PWci D '! 通过参数优化进行光栅设计
qlSI| @CO B|d-3\sn 固定周期的2D参数优化
,5V w^@F *.%z
`vjn,2S} 2D参数优化–设计1
h4p<n&)F +MZsL7%
n8 UG{.
= ^AhV1rBB 2D参数优化–设计2
_E %!5u j<NZ4Rf
ly[j=vBV 7N:3 制造
公差分析–设计2
w#6)XR|+,. Ec/&?|$
/U$5'BoS hgg8r#4q 变化光栅周期的3D参数优化
M$u.lI W&~\@j]!D
5Ve`j,`=< K_!R 制造公差分析
b~$8<\ L|hELWru
ZLDO&} QmgO00{ 走进
VirtualLab Fusion
<)$&V*\ UuS6y9@v
MO^Q 8v bG)EZ VirtualLab Fusion中的工作流程
=jEVHIYt +D+v j|fn
'VpzB
s# g^l~AR •构造光栅
结构 tm1#Lh0 −通过使用界面来配置光栅结构
NufRd/q [用例]
r01u3! •分析光栅衍射效率
C'~Eq3 −光栅级次分析器[用例]
<
]"Uy p •使用参数运行搜索初始解决方案
o 9rZ&Q< −参数运行文档的使用[用例]
oRo[WQla •通过参数优化找到最终设计
hbdB67, R ;k1(p VirtualLab Fusion技术
2c*w{\X ,ZI#p6