摘要
wt)tLMEv x:?1fvVR 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
nwV\[E (<3'LhFII iL5+Uf)E3 Ng;E]2" 建模任务
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e[$ %} \@Wk~ %2qvK} 光栅特性与参数的严格分析
v}[7)oj| f+gyJ#R` 不同光栅周期下的衍射效率
>B~p[wh0 !xa,[$w(^ PW.W.<CL r%TgZ5~u 关于光栅周期选择的考虑
BBy/bc! <K 4zH<y r$.ek\D5 <EpP; 偏振相关的衍射特性
SDJAk&Z}R BU])@~$ {mueP6Gz@J t;E-9`N #PtV=Ee1 6AzH'HF sFB; /*C L6U[H#3( 通过参数优化进行光栅设计
RCgs3JIE+2 #msk'MVt 固定周期的2D参数优化
^V>sNR HH[?LKd< z!t&zkAK 2D参数优化–设计1
b/ur!2yr 7eh}Je8 e9N 1xB TX8,+s+ 2D参数优化–设计2
aA0aW=R _RjM . K3 "co1]u G|X1c}zAL 制造
公差分析–设计2
L42C< 875V{fvPBU 3Jk;+< _X;5ORH" 变化光栅周期的3D参数优化
;xwa,1] aoMQ_@0 v)J6}H}e ~vaV=}) 制造公差分析
\+S~N:@><k k,b(MAiQ0 Z/56JYt!~ Bz!ddAvlK 走进
VirtualLab Fusion
#p*OLQ3~ '{U56^b] N.BD]_C U3%!#E{ VirtualLab Fusion中的工作流程
A-.jv )Q(tryiSi _vvnxG!x& 0(-'L\<>x •构造光栅
结构 ^|as]x!sv −通过使用界面来配置光栅结构
9 `J `( [用例]
<;SMczR •分析光栅衍射效率
xdp{y=,[ −光栅级次分析器[用例]
gwR ^Z{ •使用参数运行搜索初始解决方案
JTl
37j −参数运行文档的使用[用例]
q^Oq:l$s •通过参数优化找到最终设计
Vx-HW;, In=3#u
,M VirtualLab Fusion技术
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