[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 ! I0xq"  
6
D`n^uoP  
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 yEI@^8]s  
d/&> `[i  

图片:1-20021G15353423.png

g=56|G7n  
gYc]z5`  
建模任务 -PE_qZ^  
ZhA_d#qH  

图片:1-20021G15419564.png

#Or;"}P>fB  
光栅特性与参数的严格分析 )_=2lu3%{  
c Rq2 re  
不同光栅周期下的衍射效率 D![v{0er  
W-n4wIj"  

图片:1-20021G15602G5.png

^U*y*l$  
rQ
VX^  
关于光栅周期选择的考虑 73D<wMgZF  
_xp8*2~-  

图片:1-20021G15641J8.png

MVsFi]-  
Nhjq.&  
偏振相关的衍射特性 W8^m-B&  
"^n,(l*4x  

图片:1-20021G15G0159.png

xf]K  
+1!iwmch>  

图片:1-20021G15I2201.png

0 Uropam  
R}M ;, G  

图片:1-20021G15P2594.png

l[38cF  
,KW Q 6  
通过参数优化进行光栅设计 @i1e0;\  
3N2dV6u  
固定周期的2D参数优化 V*uE83x1  
!w
fW0?eu  

图片:1-20021G15RaL.png

rGyAzL]  
2D参数优化–设计1 ,_Z(!| rW  
?dgyi4J?=`  

图片:1-20021G15Z4258.png

J~k9jeq9  
!mmMAsd,  
2D参数优化–设计2 {arqcILr  
 <OMwi9  

图片:1-20021G20004394.png

CI'RuR3y]Z  
*|fF;-#v  
制造公差分析–设计2 hJ}i+[~be  
'+PKGmRW  

图片:1-20021G2002JX.png

WTJ 0Q0U  
a[-!X7,IU  
变化光栅周期的3D参数优化 Wh)D_  
 x]+PWk  

图片:1-20021G20100c0.png

s<9g3Gh  
:aesG7=O  
制造公差分析 a#YK1n[!  
7>JTQ CJ  

图片:1-20021G20120954.png

c{1;x)L  
K3yQ0k |  
走进VirtualLab Fusion .,bpFcQ  
_QPqF{iI  

图片:1-20021G20141219.png

8D='N`cN+  
.-KI,IU
 
VirtualLab Fusion中的工作流程 )/T[Cnx.Nc  
: uncOd.  

图片:1-20021G20205237.png

m9 h '!X<  
1qRquY  
•构造光栅结构 $Habhw  
−通过使用界面来配置光栅结构 8QrpNSj4  
[用例] UerbNz|  
•分析光栅衍射效率
4b8G 1fm  
−光栅级次分析器[用例] l|P"^;*zq  
•使用参数运行搜索初始解决方案 XcVN{6-z  
−参数运行文档的使用[用例] 1)ue-(o5  
•通过参数优化找到最终设计 i5VZ,E^E  
vrnvv?HPrR  
VirtualLab Fusion技术 T6U/}&{O  
-*C WF|<G  

图片:1-20021G2025W62.png