摘要 @S}/g/+2
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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 R9Sf!LR
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光栅特性与参数的严格分析 ,VNi_.W0
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不同光栅周期下的衍射效率 5Vp;dc
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关于光栅周期选择的考虑 "]VDY)
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偏振相关的衍射特性 b4>``n
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通过参数优化进行光栅设计 ^SZw`]
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固定周期的2D参数优化 *YWk1Cwjo
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2D参数优化–设计1 qgoJ4Z*
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制造公差分析–设计2 /~De2mq1
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变化光栅周期的3D参数优化 (n,u|}8Y
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VirtualLab Fusion中的工作流程 T*?s@$)m4
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•构造光栅结构 7p.>\YtoR}
−通过使用界面来配置光栅结构 #] CFA9z
[用例] {:Aw_z:'
•分析光栅衍射效率 Y34/+Fi
−光栅级次分析器[用例] <3TA>Dz
•使用参数运行搜索初始解决方案 >-.e A vD
−参数运行文档的使用[用例] Z\~GU*Y.e
•通过参数优化找到最终设计 hn.bau[
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VirtualLab Fusion技术 pd3,pQ
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