摘要
1A< O
Z> _tb)F"4V 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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6Ei>VcN4a P`Anf_ 建模任务
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@wYuc{%S 光栅特性与参数的严格分析
Z99%uI3 NL0X =i 不同光栅周期下的衍射效率
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LC*@/(( PD:"
SfV,G 关于光栅周期选择的考虑
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xdXt 偏振相关的衍射特性
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z./u;/: G3OqRH 通过参数优化进行光栅设计
|TkMrj0 Zc{at}{ 固定周期的2D参数优化
^$6EO)< Z[FSy-;"
oZmni9*SD 2D参数优化–设计1
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cmZ39pjBJ [L{q 2D参数优化–设计2
]}w~fjq k,0JW=Vh>|
wg<DV!GZ ]Yp;8#:1 制造
公差分析–设计2
V'mQ{[{R t1 OnA#]/_
3*/y<Z'H tOn/r@Fd^E 变化光栅周期的3D参数优化
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}(hx$G^M 0AZ Vc 制造公差分析
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jRmv~] `&LPqb 走进
VirtualLab Fusion
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_<+! ^r?ZrbSbz VirtualLab Fusion中的工作流程
7s4G|N[wR\ 2>Xgo%
^{T]sv LS}u6\( •构造光栅
结构 k^w!|%a[ −通过使用界面来配置光栅结构
S4n\<+dR< [用例]
0>6J - •分析光栅衍射效率
"iMuA −光栅级次分析器[用例]
etMQy6E\ •使用参数运行搜索初始解决方案
@!=q.4b −参数运行文档的使用[用例]
1aP3oXLL •通过参数优化找到最终设计
}Y[xj{2$O V`fp%7W VirtualLab Fusion技术
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