摘要
}?q nwx. B3+WOf5W 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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g$T_yT'' FivaCNA 建模任务
-I-&<+7v Sl<-)a:
<sFf'W_3{ 光栅特性与参数的严格分析
; o@`l$O /sC[5G% 不同光栅周期下的衍射效率
nT.2jk+ }]GK@nn7
|2&mvjk@H r`g;k&"a 关于光栅周期选择的考虑
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Jsnmn$C -Jrc'e4K 偏振相关的衍射特性
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4sE=WPKF# B;7s ]R 通过参数优化进行光栅设计
qq%_ksQ z}N^`_ * 固定周期的2D参数优化
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XN%D`tbvJ 2D参数优化–设计1
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7IW7'klkvD 4i&!V9@: 2D参数优化–设计2
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"Ksd9,J\b 54_m{&hb 制造
公差分析–设计2
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H$iMP.AK by ee-BU 变化光栅周期的3D参数优化
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[~JN n r~a}B.pj 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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3VgH*vAU} udr'~,R VirtualLab Fusion中的工作流程
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> _) a7% TK1MmL •构造光栅
结构 KDzIarC −通过使用界面来配置光栅结构
x6P^IkL: [用例]
EE{%hGb •分析光栅衍射效率
9{&x-ugM −光栅级次分析器[用例]
cv&hT.1 •使用参数运行搜索初始解决方案
a[#BlH −参数运行文档的使用[用例]
2)H|/ •通过参数优化找到最终设计
^U1+D^AJ bJvRQrj*3 VirtualLab Fusion技术
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