摘要 DPrBFmHF
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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 H@X oqgI
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建模任务 ~5ZvOX6L2
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光栅特性与参数的严格分析 "SN4*
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不同光栅周期下的衍射效率 #5sD{:f`
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关于光栅周期选择的考虑 ezhDcI_T
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偏振相关的衍射特性 OYM@szM
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通过参数优化进行光栅设计 fBBa4"OK=
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固定周期的2D参数优化 e"-X U@`k1
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2D参数优化–设计1 rh2LGuo4m
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变化光栅周期的3D参数优化 ydl jw
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制造公差分析 t$&Qv)
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走进VirtualLab Fusion ^jdL@#k00
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VirtualLab Fusion中的工作流程 HCA{pR`
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•构造光栅结构 PsjbR
−通过使用界面来配置光栅结构 ClW'W#*(Y
[用例] /k\01hc`
•分析光栅衍射效率 =Je>`{J
−光栅级次分析器[用例] jX=lAs~6
•使用参数运行搜索初始解决方案 4C_c\;d
−参数运行文档的使用[用例] 7D" %%|:
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•通过参数优化找到最终设计 S^RUw
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VirtualLab Fusion技术 n/e
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