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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 4{J'p19
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光栅特性与参数的严格分析 0q:g
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不同光栅周期下的衍射效率 j aq/]I7
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VirtualLab Fusion中的工作流程 fYzOT,c
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•构造光栅结构 KR6*)?c`
−通过使用界面来配置光栅结构 U&mJ_f#M
[用例] @lP<Mq~]
•分析光栅衍射效率 Z Tx~+'(
−光栅级次分析器[用例] i7[CqObzc
•使用参数运行搜索初始解决方案 3 9Ql|l$
−参数运行文档的使用[用例] MKdBqnM(F
•通过参数优化找到最终设计 [z:bnS~yiD
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VirtualLab Fusion技术 .wD>0Ig
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