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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ~5|R`%
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光栅特性与参数的严格分析 +}udIi3:l
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不同光栅周期下的衍射效率 6X'0 T}
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关于光栅周期选择的考虑 Y#9bM$x7
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偏振相关的衍射特性 UnVa`@P^:G
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通过参数优化进行光栅设计 73u97oe>1
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固定周期的2D参数优化 .*"KCQGOgM
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2D参数优化–设计1 A[fTpS ~~%
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2D参数优化–设计2 7;.Iat9gMf
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制造公差分析–设计2 3 TV4|&W;
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变化光栅周期的3D参数优化 rN .8-
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制造公差分析 f*xv#G
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走进VirtualLab Fusion BSr#;;\
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VirtualLab Fusion中的工作流程 QAl4w)F
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•构造光栅结构 ;>5]KNj
−通过使用界面来配置光栅结构 b
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[用例] \fvm6$ rZ^
•分析光栅衍射效率 T.%yeJiE
−光栅级次分析器[用例] eqOT@~H
•使用参数运行搜索初始解决方案 ^,f^YL;
−参数运行文档的使用[用例] _T805<aUW\
•通过参数优化找到最终设计 ~`$P-^u88X
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VirtualLab Fusion技术 s`v$r,N0
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