摘要
Bz'.7"
":0 q^xG%YdPz+ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
! $JX3mP #Us<#"fC
7;Ze>"W> .>W [ 建模任务
vjX,7NY? .=:f]fs
|uy@v6 光栅特性与参数的严格分析
t?9J'.p YeCnk:_ kg 不同光栅周期下的衍射效率
2)IM<rf'^ l~$)>?ZD
jm%P-C
@ & %/p;::A 关于光栅周期选择的考虑
g;Ugr8 QPm[4Fd{G
A.*e8a/6X T.cTL.} 偏振相关的衍射特性
hTa X@=Ra y],opG6
'/`O*KD] |ru!C(
e!J5h<: YWU@e[
rn
.qs {aA6b 通过参数优化进行光栅设计
6r"NU`1A;r Rir0^XqG 固定周期的2D参数优化
T^!Q(`* 4Pr^>m
&&CrF~
2D参数优化–设计1
u.q3~~[= ="]lN
8b0j rt 2<*"@Vj 2D参数优化–设计2
!RJ@;S Ch{6=k bK
@~vg=(ic( vRtERFL 制造
公差分析–设计2
2XL^A[? &'`C#-e@
ac\aH#J_nC ;|K
} 变化光栅周期的3D参数优化
{;Hg1=cm GTOA>RB2
iJdJP)!tz6 .WSn Y71 制造公差分析
W/A@q o" <
e3] pM
(,sz. n7i~^nf> 走进
VirtualLab Fusion
E
1`g8Hk' m\*ca3$
Fep@VkN rmBzLZ} VirtualLab Fusion中的工作流程
+s_a{iMVP I!Dx)>E&
c1kV}-v AHr^G' •构造光栅
结构 xuHP4$<h3 −通过使用界面来配置光栅结构
Qxy~%;X [用例]
EO(l?Fgw]$ •分析光栅衍射效率
}+lK'6 −光栅级次分析器[用例]
1\Bh-tzB •使用参数运行搜索初始解决方案
gLSI? −参数运行文档的使用[用例]
O<wH+k[ •通过参数优化找到最终设计
!!A(A^s 6Jy%4]wK VirtualLab Fusion技术
;~
Xjk ?lqqu#;8