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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 @h?crJ6$
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建模任务 >1|g5
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光栅特性与参数的严格分析 y!Cc?$]_Y
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不同光栅周期下的衍射效率 `rFAZcEj%
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关于光栅周期选择的考虑 ]qktj=p
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偏振相关的衍射特性 T0e<Slo~C
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通过参数优化进行光栅设计 QZYU0;
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固定周期的2D参数优化 (4+1lOd
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2D参数优化–设计1 N}Vn;29
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2D参数优化–设计2 f(:1yl\a
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制造公差分析–设计2 <y=ovkM3
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变化光栅周期的3D参数优化 t_c?Wp~tH
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制造公差分析 |nxdB&1n
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走进VirtualLab Fusion +_m r
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VirtualLab Fusion中的工作流程 Z)9R9s
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•构造光栅结构 TOT
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−通过使用界面来配置光栅结构 .Ff_s
[用例] bZ5n,KQA5
•分析光栅衍射效率 %$9bce-fcG
−光栅级次分析器[用例] fluGf
•使用参数运行搜索初始解决方案 u''BP.Y S
−参数运行文档的使用[用例] n0fR u`SNV
•通过参数优化找到最终设计 =/Juh7[C
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VirtualLab Fusion技术 Lb~\Yn'z
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