摘要
{r85l\u)Q\ _D7 ]-3uC! 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
hcCp,b UL@9W6
9SQ4cv*2 Q%S9fq,q 建模任务
v4/-b4ET dP2irC%f8
/'.=sH 光栅特性与参数的严格分析
2;3f=$3 Y4.Eq+$gh 不同光栅周期下的衍射效率
bru/AZ# de arK_oh0B
&^&zR(o` TtD@'QXq 关于光栅周期选择的考虑
./6<r OW 6vKS".4C
bvBHYf:^ K4Dp:2/K% 偏振相关的衍射特性
BP[|nL
revF;l6->C
F^$led1/F fl\aqtF
">81J5qgd B?rSjdY4
'\#EIG m#/_x 通过参数优化进行光栅设计
1nknSw# ~ (On|h 固定周期的2D参数优化
`Pn[tuIO `Hx~UH)
owpWz6k7 2D参数优化–设计1
Ty(@+M~- L)QE`24
|! SOG va|*c22;| 2D参数优化–设计2
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T#d(Y
0yM[Z':i'{ H5cV5E0 制造
公差分析–设计2
o KD/rI $h[QQ-
Lw7=+h) X .F^$ 变化光栅周期的3D参数优化
p{)5k ^E`(*J/o
|%a4`w nP~({:l8X 制造公差分析
RR;AJ8wd ~rr 4ok
= VLS/\A n(nBRCG)o 走进
VirtualLab Fusion
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XzdD VirtualLab Fusion中的工作流程
KfCoe[Vv
>YtdA
FSuAjBl0- Fk;oE'"D •构造光栅
结构 DD9 ?V}Yx −通过使用界面来配置光栅结构
fEE
/-}d [用例]
H=g.34 •分析光栅衍射效率
^[-el=oKn0 −光栅级次分析器[用例]
tGdf/aTjy •使用参数运行搜索初始解决方案
u,3,ck!B>@ −参数运行文档的使用[用例]
kU-t7'?4 •通过参数优化找到最终设计
Z4$cyL'$P 7`IpBm< VirtualLab Fusion技术
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