摘要 &.dC%
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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 )=,%iL-
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建模任务 |%wgux`z
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光栅特性与参数的严格分析 jC<1bf$K
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不同光栅周期下的衍射效率 SZ/}2_;
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关于光栅周期选择的考虑 ~3]ZN'b\
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偏振相关的衍射特性 jZRf{
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通过参数优化进行光栅设计 =bn(9Gm!J
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固定周期的2D参数优化 {2|[7oNT6
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2D参数优化–设计1 ;m/h?Y~
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制造公差分析–设计2 & XS2q0-x
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变化光栅周期的3D参数优化 JbV\eE#KrC
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制造公差分析 `"7}'|
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VirtualLab Fusion中的工作流程 Ofx]
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•构造光栅结构 \
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−通过使用界面来配置光栅结构 $ \yZ;Z:
[用例] :V9%R~h/
•分析光栅衍射效率 (G>S`B
−光栅级次分析器[用例] I pp#{'Do
•使用参数运行搜索初始解决方案 xj ?#]GR
−参数运行文档的使用[用例] [NxC7p:Lo
•通过参数优化找到最终设计 KQf=t0Z=Ce
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VirtualLab Fusion技术 L:.z
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