摘要 gi@ji-10
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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 n3j h\
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建模任务 ^T6!z^g1h
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光栅特性与参数的严格分析 wNhR(M7
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不同光栅周期下的衍射效率 /C2f;h(1
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关于光栅周期选择的考虑 y@\Q@
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偏振相关的衍射特性 w?W e|x3
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通过参数优化进行光栅设计 %7d@+
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固定周期的2D参数优化 ^WW|AS
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2D参数优化–设计1 2*wO5v
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变化光栅周期的3D参数优化 VIYksv
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制造公差分析 [q+e]kD
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VirtualLab Fusion中的工作流程 7l#2,d4
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•构造光栅结构 x\J;ZiWwW
−通过使用界面来配置光栅结构 60aKT:KLC_
[用例] NB
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•分析光栅衍射效率 <{NYD.
−光栅级次分析器[用例] l'7Mw%6{
•使用参数运行搜索初始解决方案 "h;;.Y8e
−参数运行文档的使用[用例] !V]MLA`
•通过参数优化找到最终设计 Z]aK'
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