摘要 eBW=^B"y+
C*Vd -U
当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 b}z`BRCc
70W"G
X&
q%3<Juq~$
c-]fKj7
建模任务 oY9FK{
~4 #B'Gy[
|WqOk~)[Z3
光栅特性与参数的严格分析 t=wXTK5"
F#r#}.B='U
不同光栅周期下的衍射效率 Rs;15@t@
D9ufoa&ua
u</8w&!
fZryG
关于光栅周期选择的考虑 3!9Z=-tD
{ShgJ;! Q
"cUg>a3
JNU/`JN9f
偏振相关的衍射特性 x-m/SI]_N
Z|6{T
D@54QJ<
|H)cuZ
>>'C
:7+Y
-E>)j\{PX7
t%0?N<9YkU
V^fV7hw<
通过参数优化进行光栅设计 S>:,z}i
0&w0aP`Y
固定周期的2D参数优化 b Y8GA
zQ)+/e(8
Opg#*w%-
2D参数优化–设计1
}uO5q42
4YA./j%'
=
1|"-
yyl#{Nl@t
2D参数优化–设计2 'imU`zeo
7!4V>O8@
#a~"K|'G
f05d ;
制造公差分析–设计2 vs9?+3
d,#.E@Po
n'w,n1z7
[/9(NUf
变化光栅周期的3D参数优化 f=:.BR{
<e"J4gZf&
a5c'V
D guB
制造公差分析 ';YgG<u
oN,s.Of
bg7n
{w5Z7s0
走进VirtualLab Fusion .[pUuVq]
D(XqyN-P
H'Qo\L4H
Z6s5M{mE
VirtualLab Fusion中的工作流程 ?l6jG
S`g;Y
'
kq/u,16@
-F`he=Ev9
•构造光栅结构 /6tcSg)
−通过使用界面来配置光栅结构 s (PY/{8
[用例] X#J6Umutm
•分析光栅衍射效率 `iYc<N`
−光栅级次分析器[用例] 0D3OE.$0
•使用参数运行搜索初始解决方案 WmVVR>0V|
−参数运行文档的使用[用例] _wu*M
•通过参数优化找到最终设计 3 wt
U ":"geU
VirtualLab Fusion技术 `BT^a
=5
I'_v{k5ZI