摘要 {w6/[-^
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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 w n|]{Ww35
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建模任务 <@v]H@E
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光栅特性与参数的严格分析 xg@NQI@7
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不同光栅周期下的衍射效率 [^YA=Khu
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关于光栅周期选择的考虑 ^Q<mV*~
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偏振相关的衍射特性 O`1!
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通过参数优化进行光栅设计 9p* gU[
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固定周期的2D参数优化 jEdtJEPa
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2D参数优化–设计1 W*DVi_\$y
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制造公差分析–设计2 hOv={:
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变化光栅周期的3D参数优化 $q?$]k|M`
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制造公差分析 6d[_G$'nk
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走进VirtualLab Fusion Am0{8
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VirtualLab Fusion中的工作流程 1LJuCI=~
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•构造光栅结构 AmPMY:1i"
−通过使用界面来配置光栅结构 kqYa*| l
[用例] bi y4d
•分析光栅衍射效率 =h6
sPJ
−光栅级次分析器[用例] >Iewx
Gb>
•使用参数运行搜索初始解决方案 >7`<!YJkK
−参数运行文档的使用[用例] keW~ NM
•通过参数优化找到最终设计 LTV{{Z+
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VirtualLab Fusion技术 1be %G [*
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