摘要
.}faWzRH9 C-M_:kQ[U 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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"vGh/sXW }`R,C~-|^ 建模任务
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20Zxv! 光栅特性与参数的严格分析
/HIyQW\Ki- J[lC$X[ 不同光栅周期下的衍射效率
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z%<_<} 关于光栅周期选择的考虑
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i{$-[*WHiV V?XQjH1X 偏振相关的衍射特性
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} c G)$E bEcs(Mc~ 通过参数优化进行光栅设计
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luP;P& 'TeH(?3G 制造
公差分析–设计2
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`r$7Cc$C 8 a]'G)(ts 变化光栅周期的3D参数优化
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VirtualLab Fusion
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? •构造光栅
结构 +/[M
Ex= −通过使用界面来配置光栅结构
+q&Hj|;8r [用例]
I|rb"bG •分析光栅衍射效率
u1meysa{0 −光栅级次分析器[用例]
q-! H7o •使用参数运行搜索初始解决方案
0&s6PS% −参数运行文档的使用[用例]
|gE1P/%k •通过参数优化找到最终设计
8 m"k3:e^ mB-,\{) VirtualLab Fusion技术
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