摘要
pE=wP/# upX/fLc 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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jx-W$@ _)p% 建模任务
b]J_R"} h5Z%|J>;0
r<"1$K~Ka 光栅特性与参数的严格分析
r*kk/$,2 t4,6`d?C 不同光栅周期下的衍射效率
/+3|tb +pDuRr
Q:%gJ6pa =LuA[g 关于光栅周期选择的考虑
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T,;6q!s= Qx
{/izc 偏振相关的衍射特性
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7^:s/xHO* Vls*fY:W
ZZ4W?);; Ha;^U/0|
u<):gI {At1]> 通过参数优化进行光栅设计
aLP2p] TG'A'wXxy 固定周期的2D参数优化
8pPAEf Bm^vKzp
'?q|7[SU 2D参数优化–设计1
4Jht{#IIG fLPB *y6
{Rbc xH*OEzN 2D参数优化–设计2
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[<bfwTFsl + 制造
公差分析–设计2
Z!tt(y\ V5M_N;h
wxF9lZz sgFpZk 变化光栅周期的3D参数优化
taI]) e PlEd'Z
M]eH
JZ~v wS8qua 制造公差分析
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3_ObCsJ#, eBG7]u,Q 走进
VirtualLab Fusion
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[O9(sWL' q1Ah!9B VirtualLab Fusion中的工作流程
G^oBu^bq~ %Wn/)#T|
4RJ8 2yq- 8%2*RKj •构造光栅
结构 O Y /QA −通过使用界面来配置光栅结构
.-fJ\`^mi [用例]
;PGC9v%i •分析光栅衍射效率
^uC1\!Q1 −光栅级次分析器[用例]
Rm"lRkY4I[ •使用参数运行搜索初始解决方案
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Qjoaz −参数运行文档的使用[用例]
miEfxim •通过参数优化找到最终设计
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H EiX pn>zuHe VirtualLab Fusion技术
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